RANGU
디퓨전 진공 펌프
RANGU는 디퓨전 펌프 시리즈입니다. 산업용 고진공 응용 분야에서 사용될 수 있도록 특별하게 설계되었습니다. 이러한 분야로는 유리 코팅 장치, 진공 화로, 금속 코팅, 물리적 증착(PVD), 표면 처리 또는 박막 코팅 등이 있습니다.
RANGU 디퓨전 펌프는 검증된 증기 스팀 원리에 따라 작동합니다. 그리고 가혹한 조건에서도 우수한 신뢰성이 특징입니다.
작동 원리
RANGU 디퓨전 펌프의 기본 부품은 바닥 부분을 가열할 수 있는 실린더형 펌프 장치입니다. 유체로는 오일이 사용되며 가열됩니다. 이러한 오일에서 증기가 발생하여 노즐 시스템으로 상승합니다. 그런 다음 여러 증기 스팀 단계를 통과하고 고압 조건에서 시스템으로부터 배출됩니다.가스 공정의 분자는 이러한 증기 스팀에 의해 포집되고 보조 펌프의 배출구 방향 아래로 이동됩니다. 오일 증기는 수냉식 펌프 유닛의 내부 표면에서 응축되고 하단으로 이동됩니다.
RANGU DF
견고하고 신뢰성 있는 고진공 생성기
- 최대 흡입 용량 및 가스 유량
- 작동 안정성
- 장기 사용 수명
- 유지보수 불필요
RANGU DF 시리즈의 장점
RANGU DF 디퓨전 펌프는 고진공 응용 분야에 매우 적합한 솔루션입니다. 높은 흡입 용량과 가스 유량이 필요한 공정에 매우 적합합니다.
이 진공 펌프는 일정하게 유지되는 높은 성능 및 신뢰할 수 있는 작동이 특징입니다. 다른 진공 펌프의 손상을 유발할 수 있는 가혹한 사용 조건에서도 이러한 특징이 달성됩니다. 그리고 매우 효율적으로 작동하며 유지보수 작업이 거의 필요하지 않습니다
.RANGU 디퓨전 펌프는 10-3hPa(mbar)의 흡입 압력으로 작동할 수 있습니다. Forevacuum을 생성하는 경우에는 각 진공 부스터가 장착된 R5 로터리 베인 진공 펌프 또는 COBRA 스크류 진공펌프를 사용하는 것이 좋습니다.
