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PANDA/PUMA

진공 부스터

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PANDA/PUMA 진공 부스터는 진공 펌프의 흡입 용량 및 최대 진공도를 향상합니다. 그리고 진공 시스템의 성능을 최대 10배까지 향상합니다.

PANDA/PUMA와 보조 펌프를 함께 사용하면 설정된 작동 압력에서 높은 흡입 용량이 필요한 모든 응용 분야에서 활용할 수 있습니다.

Busch (부쉬) 진공 부스터는 매우 다양한 사이즈로 제공됩니다. 이를 통해 흡입 용량 및 최대 진공도를 공정 조건에 매우 적합하도록 최적화할 수 있습니다.

PUMA 진공 부스터와 달리, PANDA 진공 부스터에는 바이패스 밸브가 표준으로 장착되어 공급됩니다. PUMA/PANDA 시리즈 모두 가변 속도 구동과 호환됩니다.

작동 원리

PANDA/PUMA 진공 부스터의 하우징 내부에서는 로브 로터 2개가 동기화되어 회전합니다. 로브 로터의 특별한 외형과 정밀한 제조 공정 덕분에 로브 로터끼리 또는 실린더와 마찰이 일어나지 않습니다. 그러므로 챔버 공정에서 윤활제나 사용 유체가 필요하지 않습니다.

로브 로터가 회전하는 동안 가스가 로브 로터와 하우징 사이에서 보조 펌프로 운반됩니다.

Busch (부쉬)의 PANDA/PUMA 시리즈 알아보기

PANDA WV

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바이패스 밸브가 장착되어 산업용 응용 분야의 성능 최적화

  • 높은 체적 효율성
  • 통합형 바이패스 밸브
  • 건식 비접촉 압축
  • 최소한의 유지보수
  • 모든 유형의 보조 펌프에 적합

PANDA WV 시리즈의 장점

PANDA WV는 러프 진공, 중진공 및 고진공 범위에 해당하는 모든 보조 펌프 유형의 성능을 대폭 향상합니다.

그리고 바이패스 밸브가 표준으로 장착됩니다. 그리고 과부하 또는 과열로부터 진공 부스터를 신뢰성 있게 보호하며 높은 차압에서 사용하는 것이 가능합니다.

PANDA WV 진공 부스터는 챔버 공정에서 사용 유체가 필요하지 않고 완전 비접촉식으로 작동합니다. 그러므로 유지보수가 최소한으로 제한됩니다. 또한, PANDA WV 진공 부스터는 체적 효율성이 예외적으로 높으며 에너지 소비가 적습니다. 이를 통해 운영 비용이 감소합니다.

PANDA WV는 시스템의 모든 다른 위치 또는 보조 펌프에 직결식으로 장착할 수 있습니다. 또한, 가변 속도 구동과도 호환됩니다.

전체 PANDA WV 제품

PUMA WY

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중진공 및 고진공 응용 분야를 위한 누설 방지 성능에 최적화

  • 가변 속도 구동 사용 가능
  • 건식 비접촉 압축
  • 모든 유형의 보조 펌프에 적합
  • 최소한의 유지보수
  • 높은 체적 효율성
  • 누설 방지(> 1x10-6 mbar x l/s)
  • 높은 기계적 및 화학적 저항성을 위한 GGG40 하우징

PUMA WY 시리즈의 장점

PUMA WY는 중진공 및 고진공 범위에 속하는 모든 보조 펌프 유형의 성능을 대폭 향상합니다. 그리고 반도체 공정용으로 특별하게 설계되었습니다.

PUMA WY 진공 부스터에는 직결식 수냉식 모터가 탑재되어 대기로의 누설이 방지됩니다. 또한, 침습성 또는 독성 가스 취급에 매우 적합합니다.

PUMA WY 진공 부스터는 챔버 공정에서 사용 유체가 필요하지 않고 완전 비접촉식으로 작동합니다. 그러므로 유지보수가 최소한으로 제한됩니다. 또한, PUMA WY 진공 부스터는 체적 효율성이 예외적으로 높으며 에너지 소비가 적습니다. 이를 통해 운영 비용이 감소합니다.

PUMA WY는 압력스위치를 사용하여 제어할 수 있습니다. 압력스위치는 최적의 작동 압력에 도달하면 진공 부스터를 활성화합니다. 또한, PUMA WY는 가변 속도 구동이 장착된 모델도 제공됩니다.

모터와 하우징 사이에 커플링이 없기 때문에, PUMA WY의 사이즈는 컴팩트합니다. 그리고 시스템 내의 다른 위치 또는 보조 펌프에 직결식으로 장착할 수 있습니다.

전체 PUMA WY 제품

PANDA WZ

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중진공 및 고진공 응용 분야를 위한 누설 방지 성능에 최적화

  • 높은 체적 효율성
  • 통합형 바이패스 밸브
  • 누설 방지(> 1x10-6 mbar x l/s)
  • 건식 비접촉 압축
  • 모든 유형의 보조 펌프에 적합
  • 최소한의 유지보수

PANDA WZ 시리즈의 장점

PANDA WZ는 중진공 및 고진공 범위에 속하는 모든 보조 펌프 유형의 성능을 대폭 향상합니다. 그리고 반도체 공정용으로 특별하게 설계되었습니다.

PANDA WZ 진공 부스터에는 직결식 수냉식 모터가 탑재되어 대기로의 누설이 방지됩니다. 또한, 침습성 또는 독성 가스 취급에 매우 적합합니다.

모터와 하우징 사이에 커플링이 없기 때문에, PANDA WZ의 사이즈는 컴팩트합니다. 그리고 시스템 내의 다른 위치 또는 보조 펌프에 직결식으로 장착할 수 있습니다.


PANDA WZ 진공 부스터는 챔버 공정에서 사용 유체가 필요하지 않고 완전 비접촉식으로 작동합니다. 그러므로 유지보수가 최소한으로 제한됩니다. 또한, PANDA WZ 진공 부스터는 체적 효율성이 예외적으로 높으며 에너지 소비가 적습니다. 이를 통해 운영 비용이 감소합니다.

PANDA 진공 부스터에는 바이패스 밸브가 표준으로 장착됩니다. 그리고 과부하 또는 과열로부터 진공 부스터를 신뢰성 있게 보호하며 높은 차압에서 사용하는 것이 가능합니다. 또한, PANDA WZ는 가변 속도 구동과 호환됩니다.

전체 PANDA WZ 제품

PUMA WP/WPA

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산업용 진공 응용 분야를 위한 성능 최적화

  • 가변 속도 구동 사용 가능
  • 건식 비접촉 압축
  • 모든 유형의 보조 펌프에 적합
  • 최소한의 유지보수
  • 높은 체적 효율성
  • 높은 기계적 및 화학적 저항성을 위한 GGG40 하우징

PUMA WP/WPA 시리즈의 장점

PUMA WP/WPA는 러프 진공 및 중진공 범위에 속하는 모든 보조 펌프 유형의 성능을 대폭 향상합니다.

PUMA WP/WPA는 압력스위치를 사용하여 제어할 수 있습니다. 압력스위치는 최적의 작동 압력에 도달하면 진공 부스터를 활성화합니다. 또한, PUMA WP/WPA는 가변 속도 구동이 장착된 모델도 제공됩니다.

PUMA WP/WPA 진공 부스터는 챔버 공정에서 사용 유체가 필요하지 않고 완전 비접촉식으로 작동합니다. 그러므로 유지보수가 최소한으로 제한됩니다. 또한, PUMA WP/WPA 진공 부스터는 체적 효율성이 예외적으로 높으며 에너지 소비가 적습니다. 이를 통해 운영 비용이 감소합니다.

PUMA WP/WPA는 시스템 내의 다른 위치 또는 보조 펌프에 직결식으로 장착할 수 있습니다.

전체 PUMA WP/WPA 제품