중진공 및 고진공 응용 분야를 위한 누설 방지 성능에 최적화
신뢰성
견고한 로브 디자인, GGG40 재질(구상흑연주철)의 내구성 구조, 누설 방지, 다양한 사용 조건에서 신뢰성 발휘
고성능
우수한 체적 효율성, 최대 10배까지 진공 시스템 성능 향상, 반도체 응용 분야 등 중진공 및 고진공용으로 특별하게 설계됨
유연성
시스템 내의 모든 위치에 직결식으로 장착 가능, 모든 보조 펌프 유형의 성능 향상
기술 사양
시장 & 어플리케이션
분석 및 연구개발
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코팅
금속 공정
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코팅