중진공 및 고진공 응용 분야를 위한 누설 방지 성능에 최적화
신뢰성
파우더 및 입자 침전을 방지하는 특수 로브 로터 설계, GGG40 소재로 제작된 견고한 구조, 누설 방지
고성능
파우더 및 먼지가 포함된 반도체 공정 등 중진공 및 고진공 범위의 가혹 조건을 위해 특별히 설계됨, 우수한 체적 효율성
호환성
다양한 사용 조건에서 신뢰할 수 있는 성능, 모든 유형의 보조 펌프에 대한 성능 향상
기술 사양
시장 & 어플리케이션
평면 패널 디스플레이 생산용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
반도체 제조
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Harsh
태양열 발전 산업용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)