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TAPIR HL 1102 A | TAPIR HL 2216 A | |
|---|---|---|
헬륨의 최소 측정 가능 누설률(분사 검사) | 5 · 10-13 Pa · m³/s | 5 · 10-13 Pa · m³/s |
헬륨의 최소 측정 가능 누설률(스니핑 누설 검출) | 1 · 10-8 Pa · m³/s | 5 · 10-10 Pa · m³/s |
사용 | 휴대용 | 산업용 |
보조 펌프의 흡입 용량(50Hz에서) | 1.7m3/h | 15m3/h |
측정 가능 가스 | 4He, 3He, H2 | |
진공 누설은 진공 시스템에서 의도하지 않거나 원치 않는 개구부가 생기는 것을 말합니다. 이를 통해 공기 또는 기타 가스가 진공 시스템에 유입되거나 빠져나갈 수 있습니다. 진공 시스템에서 누설되는 공기 또는 가스의 양을 누설률이라고 합니다. 누설률은 개구부의 크기와 개수, 가스 종류, 시스템 내부와 외부의 압력 차이 등 여러 요인에 따라 달라집니다.
진공 누설에는 다음과 같은 두 가지 유형이 있습니다.
진공 누설은 다양한 이유로 발생합니다. 그러한 이유로는 다공성 씰의 결함이나 오래된 씰, 손상된 부품, 진공 장비의 부적절한 설치 등이 있습니다.
진공 누설의 평균 크기란 없으며, 원인에 따라 미세한 파열부터 큰 파열까지 다양합니다. 진공 누설의 사이즈는 누설률(초당 시스템에서 누설되는 공정 가스 또는 공기의 양)을 측정하여 결정할 수 있습니다. 대부분의 기술적 누설은 육안으로 볼 수 없을 정도로 작습니다. Busch (부쉬)의 TAPIR와 같은 헬륨 리크 디텍터는 소규모 진공 누설을 감지하고 정량화할 수 있는 가장 정확한 방법을 제공합니다.
다양한 방법으로 TAPIR를 사용하여 누설을 감지할 수 있습니다. 소위, 분사 검사는 진공 상태 부품에 적합합니다. 그리고 스니핑 누설 검출은 압력이 가해진 부품에 적합합니다. 검출을 위해서는 추적 가스인 헬륨 또는 수소가 사용됩니다.
검사 방법 모두 수행이 편리하며 정확한 결과를 제공하므로, TAPIR은 진공 공정에 완벽한 추가 기능을 제공합니다.
그림 1: 분사 검사
그림 1: 분사 검사
그림 2: 스니핑 누설 검출 검사
그림 2: 스니핑 누설 검출 검사
그림 3: 대기압 상태에서의 통합 검사
그림 4: 진공 상태에서 밀폐된 물체의 통합 검사
그림 3: 대기압 상태에서의 통합 검사
그림 4: 진공 상태에서 밀폐된 물체의 통합 검사
반면에 통합 분사 검사는 진공 상태에서 수행됩니다. 검사 대상을 리크 디텍터에 연결하고 용기(3) 안에 놓습니다. 정밀한 검사 조건과 정확한 결과를 보장하기 위해 용기를 비우고 정해진 양의 헬륨을 채웁니다. 누설이 있는 경우 압력 차이로 인해 헬륨이 검사 대상에 침투합니다. 리크 디텍터는 검사 대상 내부의 헬륨 양을 측정하고 누설률 결정합니다.
네, 제공합니다. 누설 검출 서비스 일정을 예약하려면 당사로 문의하세요. Busch (부쉬) 서비스 전문가가 기꺼이 도와드립니다!
분사 검사 및 스니핑 누설 검사는 추적 가스 헬륨 또는 수소를 사용하는 가장 일반적인 두 가지 누설 검사입니다.
분사 검사는 진공 상태의 부품을 검사하는 데 매우 적합한 방법입니다. 이 측정 원리는 모든 방법 중 민감도가 가장 높습니다. 헬륨 또는 수소를 검사 대상의 외부 표면으로 분사합니다. 누설이 발생한 경우, TAPIR의 통합 터보 진공 펌프 및 보조 펌프가 유입되는 분자를 빨아들입니다. 그리고 최종적으로는 분석기 셀로 전달됩니다. 이 셀에서 추적 가스 원자를 감지합니다.
스니핑 누설 검출은 압력이 가해진 부품에 매우 적합한 방법입니다. 헬륨 또는 수소를 사용하여 검사 대상에 압력이 가해집니다. 그리고 TAPIR에 연결된 스니퍼 탐지기가 대상에 천천히 체계적으로 전달됩니다. 누설이 발생하면 누설되는 추적 가스 원자가 감지되어 누설 위치를 정확하게 파악할 수 있습니다.
정성적 누설 검출은 조사 중인 시스템에서 대규모 누설의 발생 여부만을 초기에 판단할 수 있습니다. 이는 Busch (부쉬) TAPIR HL 2216 A를 사용하여 100mbar의 흡입 압력에서 검출하는 것이 가능합니다. 일반적으로 25mbar에서 흡입 압력이 감소하면 리크 디텍터는 누설을 감지할 뿐만 아니라 정량화할 수도 있습니다. 즉, 누설률에 따라 누설의 규모를 정확하게 판단할 수 있습니다.
진공 감쇠 검사라고도 알려진 압력 감쇠 검사에서는 목표 압력에 도달할 때까지 압력 용기를 공기로 채웁니다. 그런 다음 설정된 기간 동안 해당 압력의 손실(감쇠)을 측정합니다. 다른 한편으로는 여러 유형의 진공 누설 검사 방법이 있습니다. 예를 들어, TAPIR 리크 디텍터와 같은 특수 장치는 추적 가스 헬륨 또는 수소를 사용하여 두 가지 유형의 테스트를 수행할 수 있습니다. 진공 누설 검사는 압력 감쇠 검사에 비해 더 빠른 결과를 제공하며 온도 변화와 같은 외부 요인에 덜 민감합니다. 따라서 결과도 더 정확합니다.
분사 검사는 진공 상태의 부품을 검사하는 데 매우 적합한 방법입니다. 이 측정 원리는 모든 방법 중 민감도가 가장 높습니다. 헬륨 또는 수소를 검사 대상의 외부 표면으로 분사합니다. 누설이 발생한 경우, TAPIR의 통합 터보 진공 펌프 및 보조 펌프가 유입되는 분자를 빨아들입니다. 그리고 최종적으로는 분석기 셀로 전달됩니다. 이 셀에서 추적 가스 원자를 감지합니다.
스니핑 누설 검출은 압력이 가해진 부품에 매우 적합한 방법입니다. 헬륨 또는 수소를 사용하여 검사 대상에 압력이 가해집니다. 그리고 TAPIR에 연결된 스니퍼 탐지기가 대상에 천천히 체계적으로 전달됩니다. 누설이 발생하면 누설되는 추적 가스 원자가 감지되어 누설 위치를 정확하게 파악할 수 있습니다.
두 검사 방법 모두 수행이 편리하며 정확한 결과를 제공합니다.
