EPI 공정을 위한 습식 스크러버 가스 감소
신뢰성
까다로운 EPI 공정용으로 특별하게 설계됨, 강력한 벤투리 장치, 특허받은 가스 유입구 막힘 방지, 저감을 수행하기 전에 부산물이 쌓이지 않음(허니 트랩)
최소한의 유지보수
연장된 서비스 간격, 높은 가동 시간, 편리한 수리, 신속한 유지관리 작업, 분해할 필요 없음
효율성
검증된 습식 스크러버 기술, 낮은 운영 비용, 용수 재순환 시스템 내장, 컬러 터치 스크린이 장착된 PLC를 통한 편리한 작동