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COBRA Semicon

건식 스크류 진공펌프

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COBRA Semicon 건식 스크류 진공펌프는 솔라셀, 평면 패널, 반도체 및 다양한 산업용 코팅 응용 분야의 생산을 위한 모든 까다로운 공정에서 이상적으로 활용될 수 있습니다.

COBRA Semicon의 작동 원리는 최신 스크류 기술을 기반으로 하며, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류를 통해 효율성의 측면에서 새로운 기준을 정립합니다.

COBRA Semicon에서는 대규모 처리량과 높은 베이퍼 및 파티클 수용성이 결합되었습니다. 그러므로 입자가 포함된 물질을 아무런 문제 없이 배출할 수 있습니다.

오일프리 및 비접촉식 작동 원리는 낮은 유지보수 요구 사항, 낮은 운영 비용 및 장기 수명을 보장합니다.

COBRA Semicon은 크기가 작아 협소한 공간에도 설치가 가능합니다.

작동 원리

COBRA Semicon 건식 스크류 진공 펌프의 내부에서는 두 개의 스크류 로터가 반대 방향으로 회전합니다. 유입된 물질은 실린더와 스크류 챔버 사이로 흡입됩니다. 그리고 압축되어 배출구로 이동됩니다. 이러한 공정 중에 스크류 로터는 다른 로터 또는 실린더와 서로 접촉하지 않습니다.

Busch (부쉬)의 COBRA Semicon 시리즈 알아보기

COBRA BA

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공냉식 플러그 및 펌프 솔루션

  • 고급 스크류 설계
  • 건식 비접촉 작동 원리
  • 특화된 "플라잉 베어링" 설계
  • 캔틸레버 구조
  • 컴팩트 디자인
  • 효과적인 공냉식
  • 옵션으로 제공되는 인버터

COBRA BA 시리즈의 장점

COBRA BA는 살균, 금속 공정, 가스 회수 또는 용광로 응용 분야 등 까다로운 공정에 매우 적합한 검증된 건식 스크류 진공 펌프입니다.

특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계로 최저 진동 수준 및 저소음 작동이 보장됩니다.

COBRA BA 진공 펌프는 벨 형상의 캔틸레버 구조가 특징으로 가변 피치 스크류가 장착된 트윈 로터는 모터 측에만 장착할 수 있습니다. 특화된 "플라잉 베어링(flying bearing)" 설계 덕분에 흡입구 방향에는 베어링이 필요하지 않습니다. 그러므로 유입된 물질이 베어링과 접촉하지 않습니다. 이를 통해 클린 진공이 생성되며 유입된 물질의 완전 회수가 가능합니다.

COBRA BA 진공 펌프는 효율적인 공냉식 작동이 특징입니다.

COBRA BA 시리즈는 직결식 캔드 모터 덕분에 매우 컴팩트합니다.

전체 COBRA BA 제품

COBRA BC

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단순~중규모 반도체 응용 분야에 이상적인 솔루션

  • 고급 스크류 설계
  • 건식 비접촉 작동 원리
  • 특화된 "플라잉 베어링" 설계
  • 캔틸레버 구조
  • 어디에나 설치가 가능한 컴팩트형 디자인
  • 직결 수냉식
  • 완전 개방형 통신 프로토콜

비디오: COBRA BC 진공 펌프의 작동 방법

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COBRA BC 시리즈의 장점

COBRA BC 진공 펌프는 로드 록 및 이송 챔버에서의 작업에 안성맞춤입니다. 기타 응용 분야로는 계측학, 미세가공기술, 물리적 증착법, 급속 열처리 풀림 및 실리콘 에칭 등이 있습니다.

특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계로 최저 진동 수준 및 저소음 작동이 보장됩니다.

COBRA BC 진공 펌프의 스크류는 일체형 주조로 제작되어 간극이 방지됩니다. 이를 통해 공정액 또는 입자 유입이 불가능합니다. 그러므로 부식 및 증착이 방지됩니다.

COBRA BC 진공 펌프는 벨 형상의 캔틸레버 구조가 특징으로, 가변 피치 스크류가 장착된 트윈 로터는 모터 측에만 장착할 수 있습니다. 특화된 "플라잉 베어링(flying bearing)" 설계 덕분에 흡입구 방향에는 베어링이 필요하지 않습니다. 그러므로 유입된 물질이 베어링과 접촉하지 않습니다. 이를 통해 클린 진공이 생성되며 유입된 물질의 완전 회수가 가능합니다.

COBRA BC 시리즈 진공 펌프는 효율적인 직접 수냉식을 활용합니다. 그러므로 펌프 본체 전체에서 온도가 균등하게 분포됩니다. 또한, 공정 중의 열 안정성도 보장됩니다.

완전 개방형 통신 프로토콜(Modbus TCP-IP)을 통해 모든 기능을 제어할 수 있습니다. 제어되는 기능에는 아이들 모드 및 가변 속도 구동이 포함됩니다. 어떤 특정 네트워크 프로토콜에도 표준 인터페이스 컴포넌트를 사용하여 통신 프로토콜을 쉽게 적용할 수 있습니다.

COBRA BC 시리즈는 직결식 캔드 모터 덕분에 매우 컴팩트합니다. 그리고 어디에서나 설치가 가능한 설계 덕분에 기존 시스템에 쉽고 빠르게 장착할 수 있습니다.

전체 COBRA BC 제품

COBRA DS

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까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프

  • 고급 스크류 설계
  • 건식 비접촉 작동 원리
  • 우수한 파우더 처리
  • 효과적인 간접 수냉식
  • 어디에나 설치가 가능한 컴팩트형 디자인
  • 수소 배출을 위한 높은 흡입 용량
  • 고효율 모터
  • 통합형 진공 부스터가 장착된 다양한 사이즈 제공 가능

COBRA DS 시리즈의 장점

COBRA DS 건식 진공 펌프는 까다로운 응용 분야에 매우 적합한 진공 펌프입니다. 높은 수소 처리량이 필요한 경우에도 사용이 가능합니다. 그러므로 화학 증기 증착, 신속한 열 공정 또는 원자 계층 증착에 매우 적합합니다.

다양한 크기가 제공되는 COBRA DS 시리즈는 통합형 고성능 진공 부스터가 특징입니다. 보조 펌프와 진공 부스터가 결합되어 향상된 흡입 용량 및 최대 진공도가 달성될 수 있습니다.

특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계는 우수한 파우더 처리 및 높은 가동 시간을 보장합니다.

COBRA DS 진공 펌프의 스크류는 일체형 주조로 제작되어 간극이 방지됩니다. 이를 통해 공정액 또는 입자 유입이 불가능합니다. 그러므로 부식 및 증착이 방지됩니다.

COBRA DS 시리즈 진공 펌프에서는 효과적인 간접 수냉식이 사용됩니다. 그 결과, 펌프 본체 전체에서 온도 분포가 제어됩니다. 언제라도 공정 변경에 대한 대응이 가능합니다.

COBRA DS는 어디에나 설치가 가능한 디자인으로 기존 시스템에 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.

전체 COBRA DS 제품