サブファブ包括マネジメント

まず、お客様の真空プロセスと除害環境全体の詳細な分析から始めます。そうすることで、お客様のすべての中･高真空ポンプとシステムコンポーネント、そしてそれらのプロセス要件を総合的に把握することができます。この情報に基づいて、最適なサブファブ包括マネジメントサービスをご提案します。

当社のご提案は、真空ポンプ、システム、付随する構成品やサービス要素（除害システム、フォアライン/排気サービス、部品清掃および接続サポートなど）を全てカバーします。消耗部品それぞれの寿命を考慮した日常メンテナンス、スペアパーツの供給も含まれます。サービスプランは、お客様の生産にできるだけ支障をきたさないよう、お客様のプロセス要件に合わせて設計します。