Système d'abattement des gaz d'échappement

L’industrie des semi-conducteurs utilise des gaz toxiques, inflammables et même nocifs pour l’homme et l’environnement. Selon les législations nationales, ces gaz doivent être traités – réduits en dessous de la valeur limite de seuil (TLV) respective. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, une pièce du Busch Group, propose des technologies de traitement des gaz de pointe pour traiter les gaz d’échappement au point d’utilisation. Pour un avenir plus propre.