TORRI BD 0100–0600 A
Multi-stage rotary lobe vacuum pumps
Den kompakte og energieffektive løsning til load lock chambers
Fleksibel
Korteste nedpumpningstid for load lock chambers
Effektiv
Ekstremt lavt energiforbrug, minimal vedligeholdelse, høj driftstid
Kompakt
Exceptionelt lille med lav vægt
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Semicon-industri
-
Lys