vådskrubber til gasreduktion til EPI-processer
Pålidelig
Specialdesignet til krævende EPI processer, kraftfuld venturi enhed, patenteret enhed til forhindring af tilstopning af gasindsugningen, ingen opsamling af biprodukter før reduktion nødvendig (honey trap)
Minimal vedligeholdelse
Udvidede serviceintervaller, driftssikker, nem service, hurtig service, ingen afmontering nødvendig
Effektiv
Anerkendt vådskrubberteknologi, lave driftsomkostninger, indbygget vandrecirkulationssystem, nem betjening via PLC med touch screen