COBRA DS 1200/1800 A/A H
Tørtløbende skruevakuumpumper
Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuum booster, perfekt til sol-, fladskærms- og semiconapplikationer samt grove processer med høje gastemperaturer, såsom ætsning og CVD. Fremragende pulverbehandling, skrue med tantalbelægning til mere krævende opgaver
Effektiv
Lave ejeromkostninger, minimal vedligeholdelse, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, højt hydrogengennemløb, lavt energiforbrug, variabel temperaturregulator
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme, lavt vibrationsniveau
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Produktion af fladskærme
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
-
Load lock chambers
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
Produktion af lithium-ionbatterier
-
Afgasning
Semicon-industri
-
Mellem
-
Barsk
-
Lys
Solenergiindustrien
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))