Den ideelle løsning til let til medium semicon applikationer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, klokkeformet konstruktion, patenterede, selvafbalancerende skruer, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuum booster, perfekt til opgaver med indføringssluser og overførselskamre, metrologi, litografi, fysisk dampaflejring og hurtig termisk glødning
Effektiv
Lave ejeromkostninger, minimal vedligeholdelse, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, direkte vandkøling
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Metallurgi
-
Coating
Semicon-industri
-
Mellem
Solenergiindustrien
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
Tilbehør
- Speciel overflade til behandling af korrosive gasser og dampe