Tecnologia consolidata, progetti collaudati:
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COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Efficiente:
    economicamente vantaggiosa, ciclo di funzionamento lungo, ad alta efficienza energetica
  • Di facile manutenzione:
    lunghi intervalli di manutenzione
  • Affidabile:
    affidabilità operativa
  • Flessibile:
    orientata all'applicazione
  • Silenziosa:
    livello di rumore < 62 dB(A)
     

COBRA BC 0100 F è la nuova pompa per vuoto a vite a secco per l'evacuazione delle camere “load lock” e per altri processi esigenti della produzione di celle fotovoltaiche, pannelli per schermi piatti e semiconduttori. Grazie all'efficiente raffreddamento ad aria ed ad una capacità di aspirazione che è la più alta nella sua classe di prestazioni, questa pompa per vuoto è ideale per applicazioni che richiedono una generazione del vuoto efficiente, rapida ed affidabile. La tecnologia delle pompe per vuoto COBRA è senza olio e senza contatto, consentendo l'evacuazione del prodotto senza alcuna contaminazione.

COBRA BC 0100 F è provvista di un motore altamente efficiente con una modalità stand-by che offre un grande potenziale di risparmi energetici.

La realizzazione compatta di COBRA BC 0100 F richiede uno spazio alquanto ridotto e il suo bassissimo fabbisogno energetico contribuisce a contenere al minimo i costi di esercizio.

Applicazioni

  • High-density plasma CVD (HDP CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)
  • Load-lock applications

COBRA – l’ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

COBRA – l’ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

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Dati tecnici

Specifiche tecniche

COBRA BC 0100 F è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite I due rotori a vite ruotano all’interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione COBRA BC 0100 F incorpora di serie il raffreddamento ad acqua, che assicura una distribuzione omogenea della temperatura all’interno della pompa per vuoto.

Il design unico della vite “flying bearing” elimina i problemi relativi ai cuscinetti di entrata e riduce l'ingombro.

Inoltre le pompe per vuoto a vite COBRA BC sono disponibili con un rivestimento speciale per la gestione di gas e vapori corrosivi
.

Disegno COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Portata

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz 60 Hz
Portata
Dati tecnici COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Capacità di aspirazione nominale 100 m³/h 165 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,5 kW 2,9 kW
Velocità nominale del motore 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energetico a pressione assoluta finale 1,3 kW 1,6 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo di acqua min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Consumo di azoto 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso approssimativo 120 m³/h 130 kg
Dimensioni (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Dati tecnici

Specifiche tecniche

COBRA BC 0100 F è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite I due rotori a vite ruotano all’interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione COBRA BC 0100 F incorpora di serie il raffreddamento ad acqua, che assicura una distribuzione omogenea della temperatura all’interno della pompa per vuoto.

Il design unico della vite “flying bearing” elimina i problemi relativi ai cuscinetti di entrata e riduce l'ingombro.

Inoltre le pompe per vuoto a vite COBRA BC sono disponibili con un rivestimento speciale per la gestione di gas e vapori corrosivi
.

Disegno
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Portata

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz
60 Hz
Portata
Dati tecnici COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Capacità di aspirazione nominale 100 m³/h 165 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,5 kW 2,9 kW
Velocità nominale del motore 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energetico a pressione assoluta finale 1,3 kW 1,6 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo di acqua min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Consumo di azoto 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso approssimativo 120 m³/h 130 kg
Dimensioni (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

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