Gasreductiesystemen

GABA AWE zijn onze innovatieve natte gaswassers, die speciaal zijn ontworpen voor kritieke EPI-processen in de halfgeleiderindustrie. Ze combineren maximale operationele betrouwbaarheid met processtabiliteit van het hoogste niveau.

Onze AWE-serie is uitgerust met een gepatenteerde inlaat voor schadelijk gas, die voorkomt dat de inlaat van de wasser verstopt raakt. Dit zorgt voor een langere levensduur en tegelijkertijd lagere bedrijfskosten. Het onderhoud bestaat uit het, op gezette tijden, vervangen van de inrichting om verstopping van de inlaat te voorkomen. Dit is heel eenvoudig en de unit hoeft hiervoor niet te worden gedemonteerd.

Door het speciale ontwerp van de GABA AWE is de scheiding van bijproducten van het productieproces in een val overbodig. De natte gaswasser kan alle procesresiduen verwerken zonder de gasinlaat te blokkeren. Wateroplosbare bijproducten reageren op de wasvloeistof, vaste stoffen worden als deeltjes gescheiden of met het afvalwater weggepompt tijdens de procedure.

Het vacuüm voor het productieproces wordt geleverd en actief geregeld via een frequentiegeregelde Venturi-unit. Dit zorgt voor een constante procesdruk in de productie-installatie en voor een probleemloze werking. Alle procesinstellingen kunnen via een programmeerbare logische besturing (PLC) met kleurendisplay en touchscreen worden vastgelegd.

GABA AFC-gasreductiesystemen zijn ontworpen om gevaarlijke gassen en luchtverontreinigende stoffen tijdens productieprocessen te verminderen of verwijderen. In feite wijzigen ze de chemische samenstelling van gassen. Door vlamloze katalytische thermische oxidatie te combineren met thermisch-natte gasreductietechnologie kunnen zowel brandbare als oplosbare gassen worden behandeld.

GABA AFC-systemen maken gebruik van een verwarmingselement dat werkt met hoge temperaturen en verwarmde katalysatoren. Dit zorgt voor een perfecte verbranding zonder vlam. Om de verwijderingsefficiëntie van de doelgassen te verhogen, zijn de juiste temperatuur en correcte bedrijfsvloeistoffen cruciale factoren. Het thermische systeem biedt stabiele behandelingscondities, terwijl er aanzienlijk minder bijproducten (bijv. NO_x, CO₂e.d.) worden geproduceerd. Wateroplosbare gassen, bijproducten en hete gassen uit de reactorkamer worden vervolgens in de natte kamer verwerkt.

Om verontreiniging tijdens onderhoudswerkzaamheden te voorkomen, zijn GABA AFC-systemen ontworpen als volledig verwisselbare systemen. Alle modules kunnen afzonderlijk worden vervangen zonder dat de kamer geopend hoeft te worden.

Gasreductiesystemen uit de AFC-serie zijn standaard uitgerust met vier procesinlaten. Daardoor kan het systeem worden aangesloten op vier verschillende kamers van een procestool of op verschillende tools, afhankelijk van de toepassing.

Gasreductiesystemen neutraliseren van gevaarlijke gassen en luchtverontreinigende stoffen tijdens productieprocessen. Dit is nodig zodat ze op een veilige manier vrijkomen in de atmosfeer. Verschillende gassen vereisen verschillende behandelingstechnieken. Thermisch, nat of zelfs een combinatie van beide technologieën.

Dit is een proces waarbij de chemische samenstelling van schadelijke gassen en luchtverontreinigende stoffen wordt gewijzigd. Dit is nodig zodat ze in de atmosfeer vrijkomen zonder plant, dier of mens te schaden.

Vlamloos katalytisch
Dit katalysatorsysteem combineert vlamloze katalytische thermische oxidatie en natte behandelingstechnologie om ontvlambare, in water oplosbare gassen en NF₃ te reduceren. Poeders en in water oplosbare gassen die tijdens de thermische oxidatie kunnen worden gegenereerd, zullen in een stroomopwaartse meertrapse ‘wetting zone’ worden vastgehouden.

Thermisch-nat
De elektrische warmte- en natte behandelingstechnologieën zijn in één systeem gecombineerd voor het reduceren van op hybride gebaseerde gassen, zoals NH₃, SiH₄ maar ook NF₃. In de verbrandingskamer worden de chemische eigenschappen van ontvlambare en pyrofore procesgassen veranderd door thermische oxidatie. In water oplosbare gassen worden vervolgens opgelost in de stroomopwaartse ‘wetting’-kamer.

Natte gaswasser
In de vier individuele reactiekamers wordt de stroom van uitlaatgassen, vooral van epitaxieprocessen, besproeid met water. Vaste bijproducten worden afgevangen in waterdruppels en opgelost. Vervolgens scheidt een absorber het water van de uitlaatgasstroom.