Werkingsprincipe
De basiscomponent van diffusievacuümpompen is een cilindrische pompunit met een verwarmbare bodem. Olie wordt als een vloeistof gebruikt en wordt opgewarmd. De damp van deze olie stijgt het sproeisysteem in. Vervolgens passeert de damp enkele dampsproeiertrappen om het systeem vervolgens onder hoge druk te verlaten.
De moleculen in het procesgas worden door deze dampsproeiers opgevangen en naar beneden geleid, in de richting van de uitlaat van de voorpomp. De oliedamp condenseert op het inwendige oppervlak van de met water gekoelde pomp en wordt terug naar de bodem geleid.
