TORRI
Meertraps draaizuigervacuümpompen
TORRI meertraps draaizuigervacuümpompen zijn de compacte en energie-efficiënte oplossing voor de evacuatie van load-lock-kamers.
Ze worden gekenmerkt door een lage einddruk en supersnelle evacuatietijd.
Werkingsprincipe
TORRI BD vacuümpompen werken volgens het bewezen Roots-principe. Door het draaien van de rotoren wordt het medium van de ene trap naar de andere gepompt en uiteindelijk naar de uitlaat getransporteerd.Door het speciale profiel van de rotoren en hun precieze fabricage komen ze niet met elkaar of met de behuizing in contact. Daarnaast zijn er geen smeermiddelen of bedrijfsvloeistoffen nodig in de compressiekamer van de pomp.
De rotoren worden aangedreven door een direct gekoppelde elektrische synchrone motor, die watergekoeld is.
TORRI BD
- Lage geluids- en trillingsniveaus
- Lichtgewicht
- Kleine afmetingen
- Droog en contactvrij werkingsprincipe
- Lange levensduur
- Lage operationele kosten
Voordelen van de TORRI BD-serie
TORRI BD is één van de kleinste, lichtste en meest energie-efficiënte droge meertraps draaizuigervacuümpompen op de markt. Hierdoor zijn deze pompen de ideale oplossing voor de evacuatie van load-lock-kamers.
Met hun bewezen werkingsprincipe bereiken de pompen een lage einddruk. De supersnelle kamerevacuatietijd verkort de totale gemiddelde cyclustijden nog verder.
Het volledig open communicatieprotocol (Modbus RTU) kan gemakkelijk worden aangepast aan een specifiek netwerkprotocol met standaard interfacecomponenten.
Een optionele LCD-controller zorgt ervoor dat de status van de pomp makkelijk kan worden gecontroleerd. Alle relevante parameters, zoals motortemperatuur, motorstroom, koelwaterverbruik en pomptemperatuur, kunnen worden weergegeven.
