Update uw browser.

Het lijkt erop dat u een oude versie van Microsoft Edge gebruikt. Update uw browser voor de beste ervaring met de Busch website.

COBRA Semicon

Droge schroefvacuümpompen

cobra_bc_1000_f

COBRA Semicon droge schroefvacuümpompen zijn de ideale keuze voor veeleisende processen in de productie van fotovoltaïsche cellen, flatscreens, halfgeleiders en in tal van industriële coatingtoepassingen.

Het werkingsprincipe van COBRA Semicon is gebaseerd op onze allernieuwste schroeftechnologie. Met hun gepatenteerde zelfbalancerende schroeven zetten ze een nieuwe norm op het gebied van efficiëntie.

COBRA Semicon combineert een hoge doorvoer met een hoge verdraagzaamheid voor dampen en deeltjes. Vervuilde media kunnen daardoor probleemloos worden verwijderd.

Het olie- en contactvrije werkingsprincipe zorgt voor lage onderhoudseisen, lage bedrijfskosten en een lange levensduur.

De compacte afmetingen van COBRA Semicon maken het installeren eenvoudig, zelfs in nauwe ruimtes.

Werkingsprincipe

In de COBRA Semicon droge schroefvacuümpompen draaien twee schroefvormige rotoren in tegengestelde richting. Het verpompte medium wordt ingesloten tussen de cilinders en de schroeven. Daar wordt het gecomprimeerd en naar de uitlaat getransporteerd. Tijdens dit proces komen de schroeven niet met elkaar of met de cilinder in contact.

Ontdek onze COBRA Semicon-serie

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
De luchtgekoelde plug&pump-oplossing

  • Geavanceerd schroefontwerp
  • Droog en contactvrij werkingsprincipe
  • Uniek “zwevende lager”-ontwerp
  • Cantilever constructie
  • Compact ontwerp
  • Effectieve luchtkoeling
  • Optionele frequentieregelaar

Voordelen van de COBRA BA-serie

COBRA BA zijn bewezen droge schroefvacuümpompen die ideaal zijn voor veeleisende processen, zoals sterilisatie, metallurgie, gasterugwinning of ovens.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp verzekert een laag trillingsniveau en geluidsarme werking.

COBRA BA vacuümpompen hebben een cantilever constructie: de dubbele rotor met variabele spoed is alleen aan de motorkant gemonteerd. Dankzij het unieke “zwevende lager”-ontwerp zijn lagers aan de inlaat niet nodig. Hierdoor komt het verpompte medium niet in contact met de lagers. Dit zorgt voor een schoon vacuüm en maakt volledige terugwinning van het verpompte medium mogelijk.

COBRA BA vacuümpompen worden gekenmerkt door een efficiënte luchtkoeling.

Dankzij de direct gekoppelde, gesloten motor zijn de pompen van de COBRA BA-serie uiterst compact.

Alle COBRA BA-producten

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Einddruk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    85 m³/h

    Meer informatie

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
De ideale oplossing voor lichte tot middelzware halfgeleidertoepassingen

  • Geavanceerd schroefontwerp
  • Droog en contactvrij werkingsprincipe
  • Uniek “zwevende lager”-ontwerp
  • Cantilever constructie
  • Compact, passend ontwerp
  • Directe waterkoeling
  • Volledig open communicatieprotocol

Video: Zo werken COBRA BC vacuümpompen

thumbnail_cobra_bc_series

De marketingcookies moeten worden geaccepteerd om deze video te kunnen bekijken.

Alle cookies toestaan

Voordelen van de COBRA BC-serie

COBRA BC vacuümpompen zijn ideaal voor load-lock- en transferkamers. Verdere toepassingen zijn onder andere metrologie, lithografie, fysische dampafzetting, snel thermisch temperen en siliciumetsen.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp verzekert een laag trillingsniveau en geluidsarme werking.

De schroeven van COBRA BC vacuümpompen worden uit één stuk gietwerk vervaardigd waardoor scheuren worden voorkomen. Dit maakt het binnendringen van procesvloeistoffen of deeltjes onmogelijk. Op deze manier worden corrosie en afzetting voorkomen.

COBRA BC vacuümpompen hebben een cantilever constructie: de dubbele rotor met variabele spoed is alleen aan de motorkant gemonteerd. Dankzij het unieke “zwevende lager”-ontwerp zijn lagers aan de inlaat niet nodig. Hierdoor komt het verpompte medium niet in contact met de lagers. Dit zorgt voor een schoon vacuüm en maakt volledige terugwinning van het verpompte medium mogelijk.

Vacuümpompen uit de COBRA BC-serie maken gebruik van efficiënte directe waterkoeling. Een gelijkmatige temperatuurverdeling over de pomp wordt hiermee behouden. Bovendien verzekert dit thermische stabiliteit tijdens het proces.

Het volledig open communicatieprotocol (Modbus TCP-IP) zorgt ervoor dat u alle functionaliteiten kunt beheren. Dit omvat energiebesparingsmodi en frequentieregeling. Het communicatieprotocol kan gemakkelijk worden aangepast aan een specifiek netwerkprotocol met standaard interfacecomponenten.

Dankzij de direct gekoppelde, gesloten motor zijn de pompen van de COBRA BC-serie uiterst compact. Door hun compacte ontwerp kunnen ze eenvoudig en snel worden ingebouwd in bestaande systemen.

Alle COBRA BC-producten

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Einddruk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Einddruk:
    0,005 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Einddruk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    100 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Einddruk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    520 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Einddruk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    530 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Einddruk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Einddruk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Einddruk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    955 m³/h

    Meer informatie

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
De nieuwe generatie droge vacuümpompen voor veeleisende processen

  • Geavanceerd schroefontwerp
  • Droog en contactvrij werkingsprincipe
  • Uitstekende handling voor vaste deeltjes
  • Effectieve, indirecte waterkoeling
  • Compact, passend ontwerp
  • Hoge pompsnelheid voor de afzetting van waterstof
  • Motor met hoog rendement
  • Versies met ingebouwde vacuümbooster verkrijgbaar

Voordelen van de COBRA DS-serie

COBRA DS droge schroefvacuümpompen zijn de ideale vacuümpompen voor veeleisende toepassingen. Zelfs onder omstandigheden waarin een hoge waterstofdoorvoer vereist is. Ze zijn hierdoor geschikt voor chemical vapor deposition, rapid thermal processing of atomic layer deposition.

De verschillende typen van de COBRA DS-serie zijn uitgerust met een ingebouwde, hoogwaardige vacuümbooster. Door deze combinatie van voorpomp en vacuümbooster kunnen hogere pompsnelheden en lagere einddrukken worden behaald.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp garandeert uitstekende handling voor vaste deeltjes en een hoge standtijd.

De schroeven van COBRA DS vacuümpompen worden uit één stuk gietwerk vervaardigd waardoor scheuren worden voorkomen. Dit maakt het binnendringen van procesvloeistoffen of deeltjes onmogelijk. Op deze manier worden corrosie en afzetting voorkomen.

Vacuümpompen uit de COBRA DS-serie maken gebruik van effectieve, indirecte waterkoeling. Als gevolg hiervan kan de temperatuurverdeling in de pomp beheerst worden. Het is altijd mogelijk om te reageren op procesvariaties.

Dankzij hun compacte ontwerp kunnen COBRA DS-pompen eenvoudig en snel worden ingebouwd in bestaande systemen.

Alle COBRA DS-producten

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Einddruk:
    0,03 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Einddruk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    600 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Einddruk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Einddruk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Meer informatie
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Einddruk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominale pompsnelheid:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Meer informatie