Technologie reconnue, conceptions reconnues -
Choisissez la meilleure solution

COBRA BC 1000 / 2000 F

Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont deux pompes à vis sèches de la célèbre série COBRA BC. Leur vitesse de pompage rapide et leur haute capacité d’aspiration en Hydrogène en font des pompes idéales pour tous les processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. La technologie des pompes à vide COBRA est une technologie sans huile et sans contact, permettant  d'évacuer des fluides poudreux et chargés de particules.

Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F intègrent une pompe Roots, garantissant de meilleures vitesses de pompage et de pressions finales. La pompe primaire et la pompe Roots sont combinées sur un châssis de base compact.

Les pompes COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont équipées d'un moteur à haute efficacité incluant un mode veille, ce qui garantit un potentiel d'économie énergétique optimal.

Leur construction compacte requiert très peu d'espace et leurs besoins énergétiques extrêmement faibles permettent des coûts de fonctionnement minimum. La longue durée de vie utile des pompes à vide COBRA BC réduit davantage encore le coût total. L’intégration de ces pompes à vide sèches dans une installation existante est simple et rapide à réaliser.

Applications

  • Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité
    (HDP CVD)
  • Traitement thermique rapide (RTP)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique
    (SACVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
  • Dépôt de couches atomiques (ALD)
  • Sas de chargement de grande capacité

COBRA – la nouvelle génération de pompes à vide à sec pour processus exigeants.

COBRA – la nouvelle génération de pompes à vide à sec pour processus exigeants.

Vous souhaitez en savoir plus ?
Contactez-nous directement ( Busch Etats-Unis ):
1-800-USA-PUMP Contactez-nous

Données techniques

Caractéristiques techniques
Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont des pompes à vide, double vis, mono-étagée. Les deux rotors à vis qui tournent à l'intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage, qui est transporté vers le refoulement. Pendant le processus de compression, les vis ne sont en contact ni entre elles, ni avec le cylindre. Les lubrifiants et autres fluides de fonctionnement dans la chambre de compression ne sont donc pas nécessaires.

Les derniers développements dans la conception des vis réduisent considérablement la consommation énergétique et empêchent des températures de gaz élevées pendant la compression. La technologie à vis moderne facilite également une vitesse de pompage extrêmement rapide pour l’aspiration d’hydrogène. Une pompe à vide Roots est utilisée comme pompe auxiliaire en combinaison avec la pompe à vide à vis pour former une unité compacte.

Très efficace, le refroidissement indirect par eau assure une répartition thermique uniforme dans la pompe à vide et garantit la stabilité thermique de la COBRA BC pendant tout le processus.

Schéma COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Vitesse de pompage

Air à 20 °C. Tolérance : ± 10%

50 Hz 60 Hz
Vitesse de pompage
Spécifications techniques COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Vitesse de pompage nominale 930 m³/h 1580 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW 2,9 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consommation d'eau 3,0 l/min 3,0 l/min
Consommation d'azote 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Poids approx. 310 kg 360 kg
Dimensions (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
L'ensemble des données de performance s'appuie sur des conditions ambiantes de 14,7 PSIA et 70 F et présente une tolérance de ± 10 %.    

Données techniques

Caractéristiques techniques
Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont des pompes à vide, double vis, mono-étagée. Les deux rotors à vis qui tournent à l'intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage, qui est transporté vers le refoulement. Pendant le processus de compression, les vis ne sont en contact ni entre elles, ni avec le cylindre. Les lubrifiants et autres fluides de fonctionnement dans la chambre de compression ne sont donc pas nécessaires.

Les derniers développements dans la conception des vis réduisent considérablement la consommation énergétique et empêchent des températures de gaz élevées pendant la compression. La technologie à vis moderne facilite également une vitesse de pompage extrêmement rapide pour l’aspiration d’hydrogène. Une pompe à vide Roots est utilisée comme pompe auxiliaire en combinaison avec la pompe à vide à vis pour former une unité compacte.

Très efficace, le refroidissement indirect par eau assure une répartition thermique uniforme dans la pompe à vide et garantit la stabilité thermique de la COBRA BC pendant tout le processus.

Schéma
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Vitesse de pompage

Air à 20 °C. Tolérance : ± 10%

50 Hz
60 Hz
Vitesse de pompage
Spécifications techniques COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Vitesse de pompage nominale 930 m³/h 1580 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW 2,9 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consommation d'eau 3,0 l/min 3,0 l/min
Consommation d'azote 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Poids approx. 310 kg 360 kg
Dimensions (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
L'ensemble des données de performance s'appuie sur des conditions ambiantes de 14,7 PSIA et 70 F et présente une tolérance de ± 10 %.    

Téléchargements

COBRA BC 1000 / 2000 F

Vous n'avez pas trouvé le produit approprié ?

Standard News

Dernières nouvelles