我们为半导体制造业提供的解决方案

Busch 普旭的真空解决方案是众多半导体应用值得信赖的选择。高可靠性、低拥有成本和智能半导体设备通信都是绝对必要的， 无论是在 load lock 腔还是严苛的颗粒生成工艺中。我们为全球多个国家及地区的优秀半导体晶圆厂提供真空系统， 并能够提供全方位的现场支持。