利用真空助力半导体制造

携手 Busch Group，找到适合您的半导体服务解决方案

作为真空技术领域的全球领导者，Busch Group 汇聚了两大专业品牌 Busch Vacuum Solutions 和 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。两大品牌强强联合，共同为半导体行业提供全面的真空解决方案和服务组合。

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 在高真空和超高真空范围以及泄漏检测方面拥有专业知识，尤其适用于半导体行业的应用需求。Pfeiffer 普发凭借其在半导体行业的长期积淀，将为客户提供优质的服务体验。无论是真空泵改造，还是 sub-fab 的全流程管理，Pfeiffer 普发均能专业把控，为您的半导体生产工艺保驾护航。

我们为半导体制造业提供的解决方案

Busch 普旭的真空解决方案是众多半导体应用值得信赖的选择。高可靠性、低拥有成本和智能半导体设备通信都是绝对必要的， 无论是在 load lock 腔还是严苛的颗粒生成工艺中。我们为全球多个国家及地区的优秀半导体晶圆厂提供真空系统， 并能够提供全方位的现场支持。