利用真空助力半导体制造
Busch 普旭的多款真空泵已在众多一流的半导体晶圆厂中运行，并以高可靠性而闻名， 这要归功于多年来我们始终关注半导体合作伙伴的需求及其工艺要求。
让我们来指导您找到符合您的工艺要求的理想解决方案。
| VACTEST | TAPIR | |
| 洁净（load lock 腔和晶片传送室、计量、平版印刷术） | ✓ | ✓ |
| 一般苛克（PVD 工艺、PVD 预清洁、RTA、削離 / 灰化、氧化物刻螞、硅刻螞） | ✓ | ✓ |
| 严苛（金属刻螞、植入源、HDP、CVD、RTP、外带、SA CVD、MO CVD、PE CVD、LP CVD、ALD） | ✓ | ✓ |
