TORRI
Bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio
As bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio TORRI são a solução compacta e com eficiência energética para o bombeamento das câmaras de load lock.
Elas são caracterizadas por uma pressão final baixa e o melhor tempo de bombeamento das câmaras de sua categoria.
Princípio de operação
As bombas de vácuo TORRI BD funcionam segundo o princípio comprovado de lóbulo rotativo. A rotação dos lóbulos aprisiona o meio bombeado e o transporta de estágio para estágio até, por fim, chegar à saída.Devido ao perfil especial dos lóbulos e sua fabricação precisa, eles não entram em contato uns com os outros ou com o cilindro. Além disso, não são necessários lubrificantes nem fluidos de operação na câmara de compressão.
Os lóbulos são acionados por um motor elétrico refrigerado a água síncrono diretamente acoplado.
TORRI BD
- Níveis de vibração e ruído baixos
- Leve
- Tamanho compacto
- Princípio de operação a seco e sem contato
- Vida útil longa
- Baixos custos totais de propriedade
Vantagens da série TORRI BD
As TORRI BD são umas das menores bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio a seco, além de serem mais leves e terem a maior eficiência energética no mercado. Como resultado, elas são a solução perfeita para o bombeamento das câmaras de load lock.
Com seu princípio de operação comprovado, elas conseguem alcançar pressões finais baixas. Tendo o melhor tempo de bombeamentoda câmara de sua categoria, é possível reduzir ainda mais os tempos médios de ciclo totais.
O protocolo de comunicação totalmente aberto (Modbus RTU) pode ser facilmente adaptado a um protocolo de rede específico, usando componentes de interface padrão.
Um controlador LCD opcional permite um monitoramento simples do status da bomba de vácuo. Todos os parâmetros relevantes como temperatura do motor, corrente do motor, fluxo de água de resfriamento e temperatura do corpo da bomba podem ser exibidos.
