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Sistemas de redução de gás

Nossa solução: GABA

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A indústria de semicondutores utiliza gases que são tóxicos, inflamáveis e até mesmo prejudiciais ao meio ambiente, mas também para o ser humano. Por exemplo, na produção de microchips. De acordo com a legislação nacional, esses gases têm que ser reduzidos. Isto significa que eles são reduzidos abaixo do respectivo valor limite (VL).

Diferentes gases exigem diferentes tecnologias de tratamento, tais como térmica, úmida ou mesmo uma combinação de ambas as tecnologias. Os gases de exaustão do processo podem então ser liberados para a atmosfera. Sem prejudicar a natureza. Para um mundo mais verde.

Princípio de operação

Oxidação térmica catalítica sem chama
Este sistema de catalisador combina oxidação térmica catalítica sem chama e tecnologia de tratamento úmido para reduzir os gases inflamáveis, solúveis em água e NF₃. Os gases em pó e solúveis em água que podem ser gerados durante a oxidação térmica serão capturados em uma zona de umidificação de vários estágios a montante.

Calor elétrico e tratamento úmido
As tecnologias de calor elétrico e tratamento úmido são combinadas em um sistema para reduzir gases à base de hidreto, tais como NH₃, SiH₄ mas também NF₃. Na câmara de combustão, a química dos gases inflamáveis e de processo pirofórico é alterada através da oxidação térmica. Os gases solúveis em água são então dissolvidos na câmara úmida a montante.

Lavador de gases em sistema úmido
Em quatro câmaras de reação individuais, o fluxo de gases de exaustão, especialmente dos processos de epitaxia, é pulverizado com água. Subprodutos sólidos são capturados em gotículas de água e são dissolvidos. Um absorvedor então separa a água do fluxo de gás de saída.

GABA AWE

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Redução do gás do purificador úmido para processos EPI

  • Tecnologia inovadora de purificador úmido
  • Para processos críticos de EPI na indústria de semicondutores
  • Protetor de entupimento de entrada patenteado
  • Intervalos de serviço estendidos
  • Não são necessários subterfúgios para recolher os subprodutos
  • Unidade de venturi controlada por frequência
  • Quatro entradas de processo para ligação a quatro câmaras diferentes

Vantagens da série GABA AWE

GABA AWE são nossos purificadores úmidos inovadores, especialmente desenvolvidos para processos críticos de EPI na indústria de semicondutores. Eles combinam a máxima confiabilidade operacional com o mais alto nível de estabilidade do processo.

Nossa série AWE é equipada com uma entrada de gás nocivo patenteada que previne o entupimento da entrada do purificador. Tudo isso contribui para o aumento da vida útil e ao mesmo tempo, para os baixos custos operacionais. A manutenção é reduzida à troca do dispositivo de prevenção de entupimento da entrada em intervalos de serviço definidos. Isso pode ser facilmente realizado sem a necessidade de desmontar a unidade.

O design especial do GABA AWE transforma a separação dos subprodutos do processo de produção em um processo obsoleto. O purificador úmido pode lidar com todos os resíduos do processo sem bloquear a entrada de gás. Os subprodutos solúveis em água reagem no líquido de lavagem, os sólidos são separados em partículas ou bombeados com as águas residuais durante o funcionamento.

O vácuo para o processo de produção é fornecido e controlado ativamente através de uma unidade venturi com frequência controlada. Esta pressão de processo constante na planta de produção garante uma operação sem problemas. Todas as configurações do processo podem ser feitas por meio de um controlador lógico programável (PLC) com display colorido e tela sensível ao toque.

Todos os produtos GABA AWE

  • GABA AWE 050 AE
    GABA AWE 050 AE

    Pressão final:

    Capacidade nominal de bombeamento:

    Saiba mais

GABA AFC

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Redução eficiente de gás catalítico sem chama

  • Combinação de tecnologia de redução de gás sem chama catalítico e termo-úmido
  • Tratamento de gases combustíveis e solúveis
  • Excelente eficiência na redução
  • Aquecedor elétrico de alta temperatura
  • Sistema completo de troca
  • Quatro entradas de processo para ligação a quatro câmaras diferentes

Vantagens da série GABA AFC

Os sistemas de redução de gás GABA AFC são projetados para a redução ou remoção de gases perigosos e poluentes do ar durante processos de fabricação. Basicamente, eles mudam a composição química dos gases. Usando a combinação de oxidação térmica/catalítica sem chama e tecnologia de redução de gás por via térmica e a úmido, é possível tratar gases combustíveis e solúveis.

GABA AFC usa um aquecedor de alta temperatura com catalisadores aquecidos. Isso permite uma combustão perfeita sem chama. Para aumentar a eficiência de remoção dos gases alvo, uma temperatura apropriada e fluidos operacionais corretos são cruciais. O sistema térmico proporciona condições de tratamento estáveis enquanto produz substancialmente menos subprodutos (ou seja, NOx, CO2, etc.). Os gases solúveis em água, subprodutos e gases quentes da câmara do reator são então processados na câmara úmida.

Para evitar contaminação durante a manutenção, GABA AFC foram projetados como sistemas de troca total. Todos os módulos podem ser substituídos individualmente sem abrir a câmara.

Os sistemas de redução de gás da série AFC vêm com quatro entradas de processo como padrão. Assim, o sistema pode ser conectado a quatro câmaras diferentes de uma ferramenta de processo ou a várias ferramentas, dependendo da aplicação.

Todos os produtos GABA AFC

  • GABA AFC 050 A
    GABA AFC 050 A

    Pressão final:

    Capacidade nominal de bombeamento:

    Saiba mais

GABA ATW

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Redução térmica úmida segura de gás

  • Combinação de tecnologia de redução de gás sem chama catalítico e termo-úmido
  • Tratamento de gases combustíveis e solúveis
  • Aquecedor elétrico de alta temperatura
  • Quatro entradas de processo para ligação a quatro câmaras diferentes

Vantagens da série GABA ATW

Os sistemas de redução de gás GABA ATW funcionam de acordo com a tecnologia de redução de gás termo-úmido. Isso significa que eles mudam a química dos gases de processo. Por oxidação térmica sem chama no caso de gases inflamáveis ​​e pirofóricos e por dissolução com água no caso de gases solúveis em água.

A ATW pode atingir temperaturas tão altas quanto as de um sistema de purificador de queimadores sem utilizar gás natural, mas energia elétrica. Isso elimina todos os riscos associados aos gases nos processos de fabricação.

Nossos GABA ATW são projetados para serem conectados ao sistema de exaustão geral da fábrica. Esses sistemas de redução de gás são equipados com quatro entradas de processo. Assim, o sistema pode ser conectado a quatro câmaras diferentes de uma ferramenta de processo ou a várias ferramentas, dependendo da aplicação.

Todos os produtos GABA ATW