Sistemas de redução de gás

A indústria de semicondutores utiliza gases que são tóxicos, inflamáveis e até mesmo nocivos para os seres humanos e o meio ambiente. De acordo com as legislações nacionais, esses gases devem ser abatidos — reduzidos abaixo do respectivo valor limite (TLV). A Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, parte do Busch Group, oferece tecnologias de redução de gás de ponta para tratar gases de exaustão no ponto de uso. Para um futuro mais limpo.