TORRI BD 0100–0600 A
Bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio
A solução compacta e com eficiência energética para câmaras de load lock
Flexível
Tempo de inatividade da bomba mais curto das câmaras de load lock
Eficiente
Consumo de energia extremamente baixo, manutenção mínima, alta disponibilidade
Compactos
Extremamente pequena e leve
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de semicondutores
-
Leve