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TORRI BD 0100–0600 A

Bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio

A solução compacta e com eficiência energética para câmaras de load lock

Flexível

Tempo de inatividade da bomba mais curto das câmaras de load lock

Eficiente

Consumo de energia extremamente baixo, manutenção mínima, alta disponibilidade

Compactos

Extremamente pequena e leve

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Produção de semicondutores
  • Leve