As bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio Torri são a solução compacta e com eficiência energética para o bombeamento das câmaras de load lock.

Elas são caracterizadas por uma pressão final baixa e o melhor tempo de bombeamento das câmaras de sua categoria.

 

Princípio de operação

As bombas de vácuo Torri BD funcionam segundo o princípio comprovado dos lóbulos rotativos.

A rotação dos lóbulos aprisiona o meio bombeado e o transporta de estágio para estágio até, por fim, chegar à saída.

Devido ao perfil especial dos lóbulos e sua fabricação precisa, eles não entram em contato uns com os outros ou com o cilindro.
Além disso, não são necessários lubrificantes nem fluidos de operação na câmara de compressão.

Os lóbulos são acionados por um motor elétrico refrigerado a água síncrono diretamente acoplado.