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COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Eficiente:
    Custo-benefício, longo tempo de operação, eficiência energética
  • Fácil manutenção:
    longos intervalos entre manutenções
  • Confiável:
    operacionalmente confiável
  • Flexível:
    Orientada para a aplicação
  • Silenciosa:
    nível de ruído inferior a < 62 dB(A)
     

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são duas bombas de vácuo de parafusos a seco de qualidade comprovada do portfólio COBRA BC. Suas rápidas velocidades de bombeamento e alto rendimento de hidrogênio tornamnas ideais para todos os processos complexos envolvidos na produção de células fotovoltaicas, telas planas e semicondutores. As bombas de vácuo COBRA são livres de óleo e contato, o que permite a evacuação de meios carregados de pó e partículas.

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F dispõem de uma bomba de reforço de vácuo integrada como equipamento padrão, o que proporciona velocidades mais elevadas de bombeamento e pressões máximas superiores. A bomba auxiliar e a bomba de reforço de vácuo são combinadas numa estrutura de base compacta.

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são equipadas com motores altamente eficientes em modo stand-by, oferecendo um excelente potencial de economia de energia. Seus tamanhos compactos demandam pouco espaço, e seu baixo consumo de energia reduzem ao mínimo o custo de operação. A longa vida útil das bombas de vácuo COBRA BC reduz ainda mais os custos totais. É fácil e rápido instalar estas bombas de vácuo de parafusos em sistemas existentes.

Aplicações:

  • CVD de Plasma de Alta Densidade (HDP CVD)
  • Rápido Processamento Térmico (RTP)
  • CVD Subatmosférica (SACVD)
  • CVD Metal-Orgânico (MOCVD)
  • CVD Potenciado por Plasma (PECVD)
  • CVD de Baixa Pressão (LPCVD)
  • Deposição de Camada Atômica (ALD)
  • Fecho de Carga de Alta Capacidade

COBRA – o próximo nível das bombas de vácuo compactas para trabalhos exigentes de alta capacidade.

COBRA – o próximo nível das bombas de vácuo compactas para trabalhos exigentes de alta capacidade.

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Especificações técnicas

Especificações técnicas
As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são bombas de vácuo de duplo parafuso monocelulares. Dois parafusos giram no interior do cilindro, prendendo e comprimindo o gás que é transportado até à saída. Durante o processo de compressão, os parafusos não entram em contato entre si nem com o cilindro; por isso, não são necessários lubrificantes e fluidos de processo na câmara.

O mais recente desenvolvimento do design dos parafusos reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A moderna tecnologia de parafuso também facilita a elevada velocidade de bombeamento para a descarga de nitrogênio. É utilizada uma bomba de vácuo como bomba de reforço em combinação com a bomba de vácuo de parafuso para formar uma unidade compacta.

O resfriamento de água eficiente e indireto permite uma distribuição de temperatura uniforme na bomba de vácuo e garante a estabilidade térmica ao longo do processo.

As bombas de vácuo de parafusos COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Capacidade de sucção
Dados técnicos COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Capacidade nominal de bombeamento 930 m³/h 1580 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Potência nominal do motor da bomba auxiliar 1,5 kW 2,9 kW
Potência nominal do motor do booster de vácuo 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de nitrogénio 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aprox. 310 kg 360 kg
Dimensões (C x L x A) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada/saída de gás DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos os dados de desempenho são baseados nas condições ambientais de 14,7 PSIA e 70 °F (21 °C), com uma tolerância de ± 10%.    

Especificações técnicas

Especificações técnicas
As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são bombas de vácuo de duplo parafuso monocelulares. Dois parafusos giram no interior do cilindro, prendendo e comprimindo o gás que é transportado até à saída. Durante o processo de compressão, os parafusos não entram em contato entre si nem com o cilindro; por isso, não são necessários lubrificantes e fluidos de processo na câmara.

O mais recente desenvolvimento do design dos parafusos reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A moderna tecnologia de parafuso também facilita a elevada velocidade de bombeamento para a descarga de nitrogênio. É utilizada uma bomba de vácuo como bomba de reforço em combinação com a bomba de vácuo de parafuso para formar uma unidade compacta.

O resfriamento de água eficiente e indireto permite uma distribuição de temperatura uniforme na bomba de vácuo e garante a estabilidade térmica ao longo do processo.

As bombas de vácuo de parafusos COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Capacidade de sucção
Dados técnicos COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Capacidade nominal de bombeamento 930 m³/h 1580 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Potência nominal do motor da bomba auxiliar 1,5 kW 2,9 kW
Potência nominal do motor do booster de vácuo 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de nitrogénio 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aprox. 310 kg 360 kg
Dimensões (C x L x A) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada/saída de gás DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos os dados de desempenho são baseados nas condições ambientais de 14,7 PSIA e 70 °F (21 °C), com uma tolerância de ± 10%.    

Transferências

COBRA BC 1000 / 2000 F

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