COBRA DS 3010/3161 C/G
Bombas de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, excelentes qualidades de execução, acelerador de vácuo integrado, ideais para deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Manuseio de biogás
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Atualização - adsorção por modulação de pressão
Produção de telas planas
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Diodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Câmaras de load lock
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
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Deposição física de vapor (PVD)
Produção de baterias de íons de lítio
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Desgaseificação
Produção de semicondutores
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Médio
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Pesado
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Leve
Indústria de energia solar
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
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Câmaras de load lock
Acessórios
- Versão opcional com processamento de pó disponível (apenas para DS 3010 G e DS 3161 C)
- Revestimento de tântalo opcional