COBRA DS 2141 A
Bomba de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, qualidade excelente de execução, acelerador de vácuo integrado, excelente capacidade de manuseio de pó, perfeitamente adequada para aplicações de semicondutores, produção de telas planas e aplicações de energia solar
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio, controle de temperatura variável, baixo nível de vibração
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, painel de controle integrado, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
-
Atualização - adsorção por modulação de pressão
-
Diodo orgânico emissor de luz (OLED)
-
Câmaras de load lock
-
Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
-
Deposição física de vapor (PVD)
-
Médio
-
Pesado
-
Leve
-
Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
-
Câmaras de load lock
-
Lingotamento
-
Laminação
-
Deposição física de vapor (PVD)