GABA AWE 050 AE
Abgasreinigungssystem
Nasswäscher-Gasreinigung für EPI-Prozesse
Zuverlässig
Speziell entwickelt für anspruchsvolle EPI-Prozesse, leistungsstarke Venturi-Einheit, Gaseintritt mit patentiertem Verblockungsschutz, kein vorheriges Abscheiden von Prozessrückständen notwendig (Honigfalle)
Minimaler Wartungsaufwand
Verlängerte Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, einfache Wartung, schnelle Serviceroutine, keine Demontage erforderlich
Effizient
Bewährte Nasswäschertechnologie, niedrige Betriebskosten, integriertes Wasserrezirkulationssystem, einfache Bedienung durch SPS mit Farb-Touchscreen