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COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
  • Einfache Wartung:
    lange Wartungsintervalle
  • Zuverlässig:
    betriebssicher  
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Leise:
    Schalldruckpegel < 62 dB(A)
     

Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind zwei trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA BC. Mit ihren großen Saugvermögen und dem hohen Wasserstoffdurchsatz eignen sie sich für alle schwierigen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die öl- und berührungsfrei verdichtende Schraubentechnologie der COBRA ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die Baugrößen der COBRA BC 1000 F und BC 2000 F haben standardmäßig eine Boosterpumpe integriert, die höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Boosterpumpe sind auf einem kompakten Grundrahmen kombiniert.

Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind mit hocheffizienten Motoren mit Stand-by-Modus ausgestattet und bieten dadurch bestmögliche Energieeinsparpotentiale.

Durch die kompakte Bauweise und den damit verbundenen geringen Platzbedarf sowie den geringen Energieverbrauch sind die Betriebskosten der COBRA BC äußerst niedrig. Die hohe Lebensdauer der COBRA BC Vakuumpumpen senkt die Gesamtkosten weiter. Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen ist einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density-plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric-CVD (SACVD)
  • Metal-organic-CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced-CVD (PECVD)
  • Low-pressure-CVD (LPCVD)
  • Atomic-layer-deposition (ALD)
  • Load-Lock-Anwendungen

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind einstufige, zweiwellige SchraubenVakuumpumpen. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Ver-dichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebs-mittel im Verdichtungsraum notwendig Die neueste Entwicklung der Schrauben-konstruktion senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Außerdem ermöglicht die moderne Schraubentechnologie eine äußerst hohe Saugleistung beim Absaugen von Wasser-stoff. Eine WälzkolbenVakuumpumpe ist als Booster mit der Schrauben-Vakuumpumpe zu einer kompakten Einheit kombiniert. Durch die effiziente indirekte Wasserkühlung verteilt sich die Temperatur gleichmäßig in der Vakuumpumpe und garantiert eine thermische Stabilität während des gesamten Prozesses.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich. 

Maßzeichnung COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nennsaugvermögen 930 m³/h 1580 m³/h
Enddruck 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Motornennleistung Vorpumpe 1,5 kW 2,9 kW
Motornennleistung Vakuum-Booster 2,9 kW 4,0 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3000 min-1 4800 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 5400 min-1 5400 min-1
Motornennleistung bei Enddruck / Energiesparmodus 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Wasserverbrauch 3,0 l/min 3,0 l/min
Stickstoffverbrauch 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Gewicht ca. 310 kg 360 kg
Abmessungen (L × W × H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gaseintritt/-austritt DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Alle Leistungsdaten basieren auf Umgebungsbedingungen von 14,7 PSIA, einer Temperatur von 21,1 °C und einer Toleranz von ± 10 %.    

Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind einstufige, zweiwellige SchraubenVakuumpumpen. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Ver-dichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebs-mittel im Verdichtungsraum notwendig Die neueste Entwicklung der Schrauben-konstruktion senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Außerdem ermöglicht die moderne Schraubentechnologie eine äußerst hohe Saugleistung beim Absaugen von Wasser-stoff. Eine WälzkolbenVakuumpumpe ist als Booster mit der Schrauben-Vakuumpumpe zu einer kompakten Einheit kombiniert. Durch die effiziente indirekte Wasserkühlung verteilt sich die Temperatur gleichmäßig in der Vakuumpumpe und garantiert eine thermische Stabilität während des gesamten Prozesses.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich. 

Maßzeichnung
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nennsaugvermögen 930 m³/h 1580 m³/h
Enddruck 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Motornennleistung Vorpumpe 1,5 kW 2,9 kW
Motornennleistung Vakuum-Booster 2,9 kW 4,0 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3000 min-1 4800 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 5400 min-1 5400 min-1
Motornennleistung bei Enddruck / Energiesparmodus 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Wasserverbrauch 3,0 l/min 3,0 l/min
Stickstoffverbrauch 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Gewicht ca. 310 kg 360 kg
Abmessungen (L × W × H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gaseintritt/-austritt DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Alle Leistungsdaten basieren auf Umgebungsbedingungen von 14,7 PSIA, einer Temperatur von 21,1 °C und einer Toleranz von ± 10 %.    

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