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COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
  • Einfache Wartung:
    lange Wartungsintervalle
  • Zuverlässig:
    betriebssicher  
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Leise:
    Schalldruckpegel < 62 dB(A)
     

Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind zwei trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA BC. Mit ihren großen Saugvermögen und dem hohen Wasserstoffdurchsatz eignen sie sich für alle schwierigen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die öl- und berührungsfrei verdichtende Schraubentechnologie der COBRA ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die Baugrößen der COBRA BC 1000 F und BC 2000 F haben standardmäßig eine Boosterpumpe integriert, die höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Boosterpumpe sind auf einem kompakten Grundrahmen kombiniert.

Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind mit hocheffizienten Motoren mit Stand-by-Modus ausgestattet und bieten dadurch bestmögliche Energieeinsparpotentiale.

Durch die kompakte Bauweise und den damit verbundenen geringen Platzbedarf sowie den geringen Energieverbrauch sind die Betriebskosten der COBRA BC äußerst niedrig. Die hohe Lebensdauer der COBRA BC Vakuumpumpen senkt die Gesamtkosten weiter. Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen ist einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density-plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric-CVD (SACVD)
  • Metal-organic-CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced-CVD (PECVD)
  • Low-pressure-CVD (LPCVD)
  • Atomic-layer-deposition (ALD)
  • Load-Lock-Anwendungen

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung
COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind einstufige, zweiwellige SchraubenVakuumpumpen. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Ver-dichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebs-mittel im Verdichtungsraum notwendig Die neueste Entwicklung der Schrauben-konstruktion senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Außerdem ermöglicht die moderne Schraubentechnologie eine äußerst hohe Saugleistung beim Absaugen von Wasser-stoff. Eine WälzkolbenVakuumpumpe ist als Booster mit der Schrauben-Vakuumpumpe zu einer kompakten Einheit kombiniert. Durch die effiziente indirekte Wasserkühlung verteilt sich die Temperatur gleichmäßig in der Vakuumpumpe und garantiert eine thermische Stabilität während des gesamten Prozesses.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich. 


COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen <p> Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%</p>
Technische Daten COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nennsaugvermögen m³/h 930 1580
Motornennleistung Walzkölben-Vakuumpumpe kW 2,9
Enddruck hPa (mbar) 0,003 0,003
Motornennleistung bei Enddruck / Energiesparmodus kW 2,1 / 1,5 3,0 / 1,9
Motornennleistung Vorpumpe kW 1,5 2,9
Motornennleistung Vakuum-Booster kW 4,0
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster min-1 5400 5400
Motornenndrehzahl Vorpumpe min-1 3000 4800
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) 62 62
Wasserverbrauch l / min 3,0 3,0
Stickstoffverbrauch l / min 0 - 50 0 - 50
Gewicht ca. kg 310 360
Abmessungen (L x W x H) mm 1054 x 425 x 615 1054 x 425 x 615
Gaseintritt / -austritt DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
All performance data is based on ambient conditions of 14.7 PSIA and 70°F, and has a tolerance of ± 10%.    

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COBRA BC 1000 / 2000 F

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