- Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie:
glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben - Effizient:
herausragende Energiebilanz, niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit - Zuverlässig:
betriebssicher - Flexibel:
anwendungsorientiert - Leise:
Schalldruckpegel < 58 dB(A) - Kompakte Konstruktion
Die COBRA BC 0600 F Premium Efficiency ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der bewährten Baureihe COBRA BC. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie mit ihrem speziell entwickelten Schraubenprofil setzt neue Standards in punkto Effizienz und macht diese Vakuumpumpen zur idealen Lösung in Schleusen- und Transferkammern sowie anderen Prozessen in Metrologie, Lithografie, PVD-Beschichtung (PVD) und Rapid Thermal Annealing (RTA).
Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC Premium Efficiency sind mit der aktuellsten VacBoost-Technologie von Busch ausgestattet, erfüllen alle heutigen Forderungen nach maximaler Energieeinsparung und Umweltverträglichkeit und haben einen um 40 % geringeren Energieverbrauch als herkömmliche Vakuumerzeuger. Mit dem intelligenten Stand-by-Modus und diversen flexiblen Leerlaufmodi lassen sich zusätzliche Energieeinsparungen erzielen. Hohe Zuverlässigkeit und minimaler Wartungsaufwand senken die Gesamtbetriebskosten zusätzlich.
Durch die fortschrittliche glockenförmige und freitragende Konstruktion ist der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben lediglich motorseitig befestigt. Die besondere „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und die geförderten Gase können vollständig rückgewonnen werden. Durch den direkten Gasweg zwischen Ein- und Auslass entstehen keine Toträume, und der Verdichtungsraum bleibt frei von Prozessablagerungen.
Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben und dem präzise im Schwerpunkt montierten Schraubenrotor gewährleistet hervorragende Laufeigenschaften und hohe Verfügbarkeit. Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC sehr kompakte Abmessungen auf.
Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus TCP-IP) ermöglicht die Steuerung aller Funktionen, u.a. der Leerlaufmodi und der Drehzahl. Mit Standard-Schnittstellenkomponenten kann es unkompliziert an spezifische Netzwerkprotokolle angepasst werden.
