Halvledartillverkning med vakuum

Busch vakuumpumpar används på ledande halvledarfabriker och är kända för sin tillförlitlighet. Resultatet av att under många år ha lyssnat på våra halvledarpartners behov och processkrav.

Låt oss guida dig till den perfekta lösningen för dina processkrav.

Halvledarservice

ARPQP
Ny rekonditioneringsservice av vakuumpumpar från Busch Särskilt avsett för Semicon och marknaden för platta bildskärmar.
Ta reda på mer
Full Sub Fab-hantering
Holistisk servicelösning på plats för en säker och stabil produktionsmiljö i din halvledarfabrik.
Ta reda på mer
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

VÅRA LÖSNINGAR FÖR HALVLEDARTILLVERKNING

Vakuumlösningar från Busch är ett tillförlitligt val för alla halvledartillämpningar. Där hög pålitlighet, låg ägandekostnad och smart kommunikation för halvledarverktyg är ett absolut måste. Från låskammare till de mest krävande partikelgenererande processerna. Vi har levererat vakuumsystem åt ledande halvledartillverkare världen över. Med support på plats efteråt från en enda leverantör.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Lätt (lås- och överföringskammare, metrologi, litografi)	✓	✓	✓	✓
Medium (PVD-processer, PVD-förrengöring, RTA, stripping/askning, oxidetsning, silikonetsning)	✓		✓	✓
Krävande (metalletsning, implantatkälla, HDP, CVD, RTP, epitaxi, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓