Uppdatera din webbläsare.

Det verkar som du använder en gammal version av Microsoft Edge webbläsare. För att få den bästa upplevelsen av Busch webbplats bör du uppdatera din webbläsare.

Halvledartillverkning med vakuum

semicon_stage_foto

Busch vakuumpumpar används på ledande halvledarfabriker och är kända för sin tillförlitlighet. Resultatet av att under många år ha lyssnat på våra halvledarpartners behov och processkrav.

Låt oss guida dig till den perfekta lösningen för dina processkrav.

Hitta din servicelösning för halvledare med Busch Group

Busch Group, en global ledare inom vakuumteknik, förenar två expertvarumärken: Busch Vacuum Solutions och Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Tillsammans erbjuder de ett omfattande utbud med vakuumlösningar och tjänster som är skräddarsydda för halvledarindustrin.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions erbjuder specialiserad expertis inom högt och ultrahögt vakuum och läckagedetektering, särskilt för halvledartillämpningar. Tack vare sin långvariga position inom halvledarindustrin kommer Pfeiffer att erbjuda bästa möjliga service. Oavsett om det gäller renovering av vakuumpumpar eller fullständig hantering av underfabriker säkerställer Pfeiffer att dina halvledarprocesser är i säkra händer.

Halvledarservice

  • con23_293_newimagelandingpagesemiconsemciconlocation

    Serviceplatser för halvledare

    Hitta din serviceplats för halvledare.

    Ta reda på mer

Våra Lösningar För Halvledartillverkning

Vakuumlösningar från Busch är ett tillförlitligt val för alla halvledartillämpningar. Där hög pålitlighet, låg ägandekostnad och smart kommunikation för halvledarverktyg är ett absolut måste. Från låskammare till de mest krävande partikelgenererande processerna. Vi har levererat vakuumsystem åt ledande halvledartillverkare världen över. Med support på plats efteråt från en enda leverantör.
VACTEST
Lätt (lås- och överföringskammare, metrologi, litografi)
Medium (PVD-processer, PVD-förrengöring, RTA, stripping/askning, oxidetsning, silikonetsning)
Krävande (metalletsning, implantatkälla, HDP, CVD, RTP, epitaxi, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)