Производство полупроводников с использованием вакуума
Вакуумные насосы Busch применяются на ведущих полупроводниковых предприятиях и получили широкое признание благодаря их надежности. Это результат многолетнего опыта сотрудничества с нашими партнерами по производству полупроводниковых материалов и соблюдения их требований процесса.
Позвольте нам помочь вам найти идеальное решение для ваших требований процесса.
Услуги для производства полупроводников
| COBRA | TORRI | VACTEST | TAPIR | |
| Легкие (камеры загрузочных шлюзов и передаточные камеры, метрология, литография) | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Средние (процессы PVD, предварительная очистка PVD, RTA, зачистка/шлифовка, травление оксида, травление кремния) | ✓ | ✓ | ✓ | |
| Тяжелые (травление металла, источник при ионной имплантации, HDP, CVD, RTP, эпитаксия, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD) | ✓ | ✓ | ✓ |
