Gassreduksjonssystemer

GABA AWE er våre innovative våtavskillere, spesielt utviklet for kritiske EPI-prosesser i halvlederindustrien. De kombinerer maksimal driftssikkerhet med høyeste nivå av prosesstabilitet.

Vår AWE-serie er utstyrt med et patentert giftgassinnløp som hindrer avskillerinnløpet i å bli tilstoppet. Dette fører til økt levetid og samtidig til lave driftskostnader. Vedlikehold er redusert til å skifte tilstoppingspreventeren i innløpet ved regelmessige serviceintervaller. Dette kan enkelt utføres uten at enheten må demonteres.

Den spesielle designen på GABA AWE gjør at separasjonen av biprodukter fra produksjonsprosessen i felle er utdatert. Våtavskilleren kan håndtere alle prosessrester uten å blokkere gassinnløpet. Vannløselige biprodukter reagerer i avskillervæsken, faste stoffer separeres som partikler eller pumpes unna med avløpsvannet under drift.

Vakuumet til produksjonsprosessen tilføres og kontrolleres aktivt via en hastighetskontrollert venturi-enhet. Denne sørger for konstant prosesstrykk på produksjonsanlegget og problemfri drift. Alle prosessinnstillinger kan utføres via en programmerbar logisk styring (PLC) med berøringsfargeskjerm.

GABA ATW gassreduksjonssystemer fungerer etter prinsippene for termisk våtgassreduksjonsteknologi. Det betyr at de endrer kjemien i prosessgassene. Gjennom flammeløs termisk oksidering ved antennbare og pyrofore gasser og gjennom vannoppløsing ved vannløselige gasser.

ATW kan nå like høye temperaturer som i et brennavskillersystem ved å bruke elektrisk energi i stedet for naturgass. Dette eliminerer all risiko forbundet med gasser i produksjonsprosessen.

Vår GABA ATW er designet for tilkobling til det generelle avgassystemet på fabrikken. Disse gassreduksjonssystemene er utstyrt med fire prosessinnløp. Systemet kan dermed kobles til fire ulike kamre i et prosessverktøy eller til flere verktøy, avhengig av bruksområdet.

Gassreduksjonssystemer fjerner farlige gasser og luftforurensende stoffer under produksjonsprosesser. Denne prosessen er nødvendig for å slippe gassene ut i atmosfæren på en sikker måte. Ulike gasser krever ulike behandlingsteknologier, som termisk, våt eller en kombinasjon av disse teknologiene.

Gassreduksjon er prosessen der de kjemiske sammensetningene av farlige gasser og luftforurensning endres. Dette er nødvendig for at de skal slippes ut i atmosfæren uten å skade dyr eller mennesker.

Flammeløs katalytisk
Dette katalysatorsystemet kombinerer flammeløs katalytisk varmeoksydering og våtbehandlingsteknologi for å redusere antennbare, vannløselige gasser og NF₃. Pulver og vannløselige gasser som kan bli generert under varmeoksydering, vil bli fanget i en oppstrøms vætingssone i flere trinn.

Termisk våt
Elektrisk varme- og våtbehandlingsteknologi kombineres i ett system for å minske hydridbaserte gasser som NH₃, SiH₄ og også NF₃. I brennkammeret endres kjemien i antennbare og pyrofore prosessgasser via termisk oksidering. Vannløselige gasser løses deretter opp i vætingskammeret oppstrøms.

Våtavskiller
Eksosgasstrømmen, spesielt fra epitaksiprosesser, sprayes med vann i fire individuelle reaksjonskamre. Faste biprodukter fanges i vanndråper og løses opp. Deretter separerer en absorber vannet fra utløpsgasstrømmen.