Gassreduksjonssystemer
Vår løsning: GABA
Halvlederindustrien bruker gasser som er giftige, antennbare og til og med skadelige, ikke bare for miljøet, men også for mennesker. For eksempel i mikrobrikkeproduksjon. I henhold til nasjonal lovgivning må disse gassene reduseres. Det betyr at de reduseres under den respektive yrkeshygieniske grenseverdien (TLV).
Ulike gasser krever ulike behandlingsteknologier, som termisk, våt eller en kombinasjon av disse teknologiene. Eksosgassene fra prosessen kan så slippes ut i atmosfæren. Uten å skade naturen. For en grønnere verden.
GABA AWE
- Innovativ våtavskillerteknologi
- For kritiske EPI-prosesser i halvlederindustrien
- Patentert tilstoppingspreventer på innløp
- Forlengede serviceintervaller
- Det kreves ingen felle for å samle opp biprodukter.
- Hastighetskontrollert venturi-enhet
- Fire prosessinnløp for tilkobling til fire ulike kamre
Fordeler ved GABA AWE-serien
GABA AWE er våre innovative våtavskillere, spesielt utviklet for kritiske EPI-prosesser i halvlederindustrien. De kombinerer maksimal driftssikkerhet med høyeste nivå av prosesstabilitet.
Vår AWE-serie er utstyrt med et patentert giftgassinnløp som hindrer avskillerinnløpet i å bli tilstoppet. Dette fører til økt levetid og samtidig til lave driftskostnader. Vedlikehold er redusert til å skifte tilstoppingspreventeren i innløpet ved regelmessige serviceintervaller. Dette kan enkelt utføres uten at enheten må demonteres.
Den spesielle designen på GABA AWE gjør at separasjonen av biprodukter fra produksjonsprosessen i felle er utdatert. Våtavskilleren kan håndtere alle prosessrester uten å blokkere gassinnløpet. Vannløselige biprodukter reagerer i avskillervæsken, faste stoffer separeres som partikler eller pumpes unna med avløpsvannet under drift.
Vakuumet til produksjonsprosessen tilføres og kontrolleres aktivt via en hastighetskontrollert venturi-enhet. Denne sørger for konstant prosesstrykk på produksjonsanlegget og problemfri drift. Alle prosessinnstillinger kan utføres via en programmerbar logisk styring (PLC) med berøringsfargeskjerm.
Vanlige spørsmål
Hva er et gassreduksjonssystem?
Gassreduksjonssystemer fjerner farlige gasser og luftforurensende stoffer under produksjonsprosesser. Denne prosessen er nødvendig for å slippe gassene ut i atmosfæren på en sikker måte. Ulike gasser krever ulike behandlingsteknologier, som termisk, våt eller en kombinasjon av disse teknologiene.
Hva er gassreduksjon?
Gassreduksjon er prosessen der de kjemiske sammensetningene av farlige gasser og luftforurensning endres. Dette er nødvendig for at de skal slippes ut i atmosfæren uten å skade dyr eller mennesker.
Driftsprinsipp
Flammeløs katalytisk
Dette katalysatorsystemet kombinerer flammeløs katalytisk varmeoksydering og våtbehandlingsteknologi for å redusere antennbare, vannløselige gasser og NF₃. Pulver og vannløselige gasser som kan bli generert under varmeoksydering, vil bli fanget i en oppstrøms vætingssone i flere trinn.
Termisk våt
Elektrisk varme- og våtbehandlingsteknologi kombineres i ett system for å minske hydridbaserte gasser som NH₃, SiH₄ og også NF₃. I brennkammeret endres kjemien i antennbare og pyrofore prosessgasser via termisk oksidering. Vannløselige gasser løses deretter opp i vætingskammeret oppstrøms.
Våtavskiller
Eksosgasstrømmen, spesielt fra epitaksiprosesser, sprayes med vann i fire individuelle reaksjonskamre. Faste biprodukter fanges i vanndråper og løses opp. Deretter separerer en absorber vannet fra utløpsgasstrømmen.