Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

Gassreduksjonssystemer

Vår løsning: GABA

gaba_awe_050_ae

Halvlederindustrien bruker gasser som er giftige, antennbare og til og med skadelige, ikke bare for miljøet, men også for mennesker. For eksempel i mikrobrikkeproduksjon. I henhold til nasjonal lovgivning må disse gassene reduseres. Det betyr at de reduseres under den respektive yrkeshygieniske grenseverdien (TLV).

Ulike gasser krever ulike behandlingsteknologier, som termisk, våt eller en kombinasjon av disse teknologiene. Eksosgassene fra prosessen kan så slippes ut i atmosfæren. Uten å skade naturen. For en grønnere verden.

Driftsprinsipp

Flammeløs katalytisk
Dette katalysatorsystemet kombinerer flammeløs katalytisk varmeoksydering og våtbehandlingsteknologi for å redusere antennbare, vannløselige gasser og NF₃. Pulver og vannløselige gasser som kan bli generert under varmeoksydering, vil bli fanget i en oppstrøms vætingssone i flere trinn.

Termisk våt
Elektrisk varme- og våtbehandlingsteknologi kombineres i ett system for å minske hydridbaserte gasser som NH₃, SiH₄ og også NF₃. I brennkammeret endres kjemien i antennbare og pyrofore prosessgasser via termisk oksidering. Vannløselige gasser løses deretter opp i vætingskammeret oppstrøms.

Våtavskiller
Eksosgasstrømmen, spesielt fra epitaksiprosesser, sprayes med vann i fire individuelle reaksjonskamre. Faste biprodukter fanges i vanndråper og løses opp. Deretter separerer en absorber vannet fra utløpsgasstrømmen.

GABA AWE

gaba_awe_050_ae
Gassreduksjon med våtavskiller for EPI-prosesser

  • Innovativ våtavskillerteknologi
  • For kritiske EPI-prosesser i halvlederindustrien
  • Patentert tilstoppingspreventer på innløp
  • Forlengede serviceintervaller
  • Det kreves ingen felle for å samle opp biprodukter.
  • Hastighetskontrollert venturi-enhet
  • Fire prosessinnløp for tilkobling til fire ulike kamre

Fordeler ved GABA AWE-serien

GABA AWE er våre innovative våtavskillere, spesielt utviklet for kritiske EPI-prosesser i halvlederindustrien. De kombinerer maksimal driftssikkerhet med høyeste nivå av prosesstabilitet.

Vår AWE-serie er utstyrt med et patentert giftgassinnløp som hindrer avskillerinnløpet i å bli tilstoppet. Dette fører til økt levetid og samtidig til lave driftskostnader. Vedlikehold er redusert til å skifte tilstoppingspreventeren i innløpet ved regelmessige serviceintervaller. Dette kan enkelt utføres uten at enheten må demonteres.

Den spesielle designen på GABA AWE gjør at separasjonen av biprodukter fra produksjonsprosessen i felle er utdatert. Våtavskilleren kan håndtere alle prosessrester uten å blokkere gassinnløpet. Vannløselige biprodukter reagerer i avskillervæsken, faste stoffer separeres som partikler eller pumpes unna med avløpsvannet under drift.

Vakuumet til produksjonsprosessen tilføres og kontrolleres aktivt via en hastighetskontrollert venturi-enhet. Denne sørger for konstant prosesstrykk på produksjonsanlegget og problemfri drift. Alle prosessinnstillinger kan utføres via en programmerbar logisk styring (PLC) med berøringsfargeskjerm.

Alle GABA AWE-produktene

  • GABA AWE 050 AE
    GABA AWE 050 AE

    Sluttrykk:

    Nominell pumpekapasitet:

    Les mer

GABA AFC

gaba_afc_050_a
Effektiv, flammeløs katalytisk gassreduksjon

  • Kombinasjon av flammeløs katalytisk og termisk våtgassreduksjonsteknologi
  • Behandling av antennbare og løselige gasser
  • Utmerket reduksjonseffektivitet
  • Elektrisk høytemperaturvarmer
  • Fullt utskiftbart system
  • Fire prosessinnløp for tilkobling til fire ulike kamre

Fordeler ved GABA AFC-serien

GABA AFC gassreduksjonssystemer er designet for å redusere eller fjerne farlige gasser og luftforurensende stoffer under produksjonsprosesser. Enkelt sagt endrer de gassenes kjemiske sammensetning. Ved å bruke en kombinasjon av flammeløs katalytisk termisk oksidasjon og termisk våtgassreduksjonsteknologi, er det mulig å behandle både brennbare og løselige gasser.

GABA AFC bruker en høytemperaturvarmer med oppvarmede katalysatorer. Dette sørger for perfekt forbrenning uten flamme. For å øke fjerningseffektiviteten til målgassene, er det viktig med korrekt temperatur og riktige driftsvæsker. Varmesystemet sørger for stabile behandlingsvilkår samtidig med å danne betydelig færre biprodukter (dvs. NOx, CO2osv.). Vannløselige gasser, biprodukter og varmgasser fra reaktorkammeret behandles så i våtkammeret.

For å unngå kontaminasjon under vedlikehold, har GABA AFC blitt designet som fullt utskiftbare systemer. Alle moduler kan skiftes ut individuelt uten å åpne kammeret.

Gassreduksjonssystemene i AFC-serien leveres med fire prosessinnløp som standard. Systemet kan dermed kobles til fire ulike kamre i et prosessverktøy eller til flere verktøy, avhengig av bruksområdet.

Alle GABA AFC-produktene

  • GABA AFC 050 A
    GABA AFC 050 A

    Sluttrykk:

    Nominell pumpekapasitet:

    Les mer