Driftsprinsipp
Den grunnleggende komponenten i oljediffusjonsvakuumpumper er en sylindrisk pumpeenhet med oppvarmbar bunn. Olje brukes som væske og varmes opp. Dampen fra denne oljen flyter inn i dysesystemet. Deretter passerer den gjennom flere fordampingsstråletrinn og ut av dette systemet under høyt trykk.
Molekylene i prosessgassen fanges opp av disse dampstrålene og fraktes ned til forvakuumpumpens utgang. Oljedampen kondenserer på den indre overflaten av den vannkjølte pumpeenheten og sendes tilbake til bunnen.
