gassreduksjon med våtavskiller for EPI-prosesser
Pålitelig
Spesielt designet for krevende EPI-prosesser, kraftig venturi-enhet, patentert tilstoppingsbeskyttelse av gassinnløp, ingen fangst av biprodukter før reduksjon er nødvendig (honningfelle)
Minimalt med vedlikehold
Utvidede serviceintervaller, høy oppetid, enkel service, rask servicerutine, ingen demontering nødvendig
Effektiv
Gjennomprøvd gassvaskerteknologi, lave driftskostnader, innebygd vannsirkulasjonssystem, enkel betjening gjennom PLC med fargeberøringsskjerm