den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser
Høy ytelse
Avansert skruedesign, førsteklasses driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, førsteklasses pulverhåndtering, perfekt egnet for halvlederapplikasjoner, flatskjermproduksjon og solpanelapplikasjoner
Effektiv
Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, effektiv indirekte vannkjøling, høy hydrogenkapasitet, variabel temperatur-styring, lavt vibrasjonsnivå
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, integrert styrepanel, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Håndtering av biogass
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Produksjon av flatskjerm
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Innlastningssluser
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
-
Fysisk dampavsetning (PVD)
Halvlederproduksjon
-
Middels
-
Krevende
-
Lav
Solenergiindustri
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
-
Innlastningssluser
-
Blokkstøping
-
Laminering
-
Fysisk dampavsetning (PVD)