Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

  • cobra_ds_1200_a

COBRA DS 1200/1800 A/A H

Tørre skruevakuumpumper

den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser

Høy ytelse

Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for solpanel-, flatpanel- og halvlederapplikasjoner samt krevende prosesser med høye gasstemperaturer som etsing og CVD, utmerket pulverhåndtering, tantalbelagt skrue for krevende applikasjoner

Effektiv

Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, høy hydrogenkapasitet, lavt energiforbruk, variabel temperaturregulering

Kompakt

Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme, lavt vibrasjonsnivå

Tekniske spesifikasjoner

Markeder og bruksområder

Produksjon av flatskjerm
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
  • Innlastningssluser
  • Organisk lysdiode (OLED)
  • Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litiumion-batterier
  • Avgassing
Halvlederproduksjon
  • Middels
  • Krevende
  • Lav
Solenergiindustri
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)