COBRA BC 0601–1200 A/G
Tørre skruevakuumpumper
den ideelle løsningen for lette til medium halvlederapplikasjoner
Høy ytelse
Avansert skruedesign, klokkeformet konstruksjon, patenterte selvbalanserende skruer, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for kalde atomlagdeponeringsprosesser, innlastingssluser og overføringskamre, metrologi, litografi, fysisk dampavsetning, rask termisk gløding og etseprosesser som oksid, silisium og metall
Effektiv
Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, direkte vannkjøling
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
-
Middels
-
Fysisk dampavsetning (PVD)