Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

  • cobra_bc_1200_a

COBRA BC 0601–1200 A/G

Tørre skruevakuumpumper

den ideelle løsningen for lette til medium halvlederapplikasjoner

Høy ytelse

Avansert skruedesign, klokkeformet konstruksjon, patenterte selvbalanserende skruer, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for kalde atomlagdeponeringsprosesser, innlastingssluser og overføringskamre, metrologi, litografi, fysisk dampavsetning, rask termisk gløding og etseprosesser som oksid, silisium og metall

Effektiv

Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, direkte vannkjøling

Kompakt

Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme

Tekniske spesifikasjoner

Markeder og bruksområder

Håndtering av biogass
  • Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Halvlederproduksjon
  • Middels
Solenergiindustri
  • Fysisk dampavsetning (PVD)