den ideelle løsningen for lette til medium halvlederapplikasjoner
Høy ytelse
Avansert skruedesign, klokkeformet konstruksjon, patenterte selvbalanserende skruer, utmerkede driftskvaliteter, perfekt egnet for oppgaver i innlastingssluser og overføringskamre, metrologi, litografi, fysisk dampavsetning og rask termisk gløding
Effektiv
Intelligent variabel hastighetsdriv, lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, høy oppetid, direkte vannkjøling
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, integrert styrepanel
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Håndtering av biogass
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Halvlederproduksjon
-
Lav