De ideale oplossing voor lichte tot middelzware halfgeleidertoepassingen
Uitstekende prestaties
Geavanceerd schroefontwerp, gepatenteerde zelfbalancerende schroeven, uitstekende loopprestaties, ingebouwde vacuümbooster, ideaal voor taken in load lock en transfer chambers, metrology, litography, physical vapor deposition en rapid thermal annealing
Efficiënt
Intelligente aandrijving met variabele snelheid, lage gebruikskosten, minimaal onderhoud, hoge beschikbaarheid, directe waterkoeling
Compact
Compact ontwerp, direct gemonteerd op gesloten motor, ingebouwd schakelpaneel
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Productie van halfgeleiders
-
Licht