작동 원리
스크롤 진공 펌프에는 고정 및 선회 두 스크롤이 있습니다. 선회 스크롤이 움직이면 펌프의 유입구에 공간이 만들어져 가스를 빨아들입니다. 로터가 움직이면서 가스가 압축되어 배출됩니다.
Fossa
13 Years in Operation - COBRA BC Achieves Milestone at GlobalFoundries
스크롤 진공 펌프
작동 원리
스크롤 진공 펌프에는 고정 및 선회 두 스크롤이 있습니다. 선회 스크롤이 움직이면 펌프의 유입구에 공간이 만들어져 가스를 빨아들입니다. 로터가 움직이면서 가스가 압축되어 배출됩니다.
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스크롤 진공 펌프
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