스크롤 진공 펌프에는 고정 및 선회 두 스크롤이 있습니다. 선회 스크롤이 움직이면 펌프의 유입구에 공간이 만들어져 가스를 빨아들입니다. 로터가 움직이면서 가스가 압축되어 배출됩니다.
Fossa
Busch Group and Pfeiffer Vacuum sign strategic cooperation agreement
스크롤 진공 펌프
작동 원리
스크롤 진공 펌프에는 고정 및 선회 두 스크롤이 있습니다. 선회 스크롤이 움직이면 펌프의 유입구에 공간이 만들어져 가스를 빨아들입니다. 로터가 움직이면서 가스가 압축되어 배출됩니다.
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스크롤 진공 펌프
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