디퓨전 진공 펌프
작동 원리
확산 진공 펌프는 중앙 다단 분사 어셈블리와 이에 연결된 오일 보일러로 구성됩니다. 가열된 오일은 제트 어셈블리에서 초음속의 속도로 내뿜어지고 공정 가스 분자는 오일 분사 흐름에 혼입되어 더 무거운 오일 분자의 운동량에의해 펌프 본체를 통과해 내보내어집니다. 이 공정에서 가스 분자가 저압 유입구 플랜지에서 확산 펌프의 포어라인 진공 포트로 이동하면서 오일은 응축되어 보일러로 회수되고 공정 가스 분자는 보조 펌프(backing pump)에 의해 배출됩니다.
Rangu
확산 진공 펌프는 중앙 다단 분사 어셈블리와 이에 연결된 오일 보일러로 구성됩니다. 가열된 오일은 제트 어셈블리에서 초음속의 속도로 내뿜어지고 공정 가스 분자는 오일 분사 흐름에 혼입되어 더 무거운 오일 분자의 운동량에의해 펌프 본체를 통과해 내보내어집니다. 이 공정에서 가스 분자가 저압 유입구 플랜지에서 확산 펌프의 포어라인 진공 포트로 이동하면서 오일은 응축되어 보일러로 회수되고 공정 가스 분자는 보조 펌프(backing pump)에 의해 배출됩니다.
Rangu
