확산 진공 펌프는 중앙 다단 분사 어셈블리와 이에 연결된 오일 보일러로 구성됩니다. 가열된 오일은 제트 어셈블리에서 초음속의 속도로 내뿜어지고 공정 가스 분자는 오일 분사 흐름에 혼입되어 더 무거운 오일 분자의 운동량에의해 펌프 본체를 통과해 내보내어집니다. 이 공정에서 가스 분자가 저압 유입구 플랜지에서 확산 펌프의 포어라인 진공 포트로 이동하면서 오일은 응축되어 보일러로 회수되고 공정 가스 분자는 보조 펌프(backing pump)에 의해 배출됩니다.
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