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TORRI BD – 로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션

Torri BD는 시판되는 제품 중 가장 작고 가벼우며 에너지 효율적인 건식 다단 회전 로브 진공 펌프입니다. 이런 특성 덕분에 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 이상적인 솔루션입니다.

검증된 작동 원리에 의해 매우 낮은 압력의 최대 진공도를 만들어냅니다. 동급 최고의 챔버 펌핑 시간으로 총 평균 사이클 횟수를 줄일수 있습니다.

완전 개방형 데이터 교환 프로토콜(Modbus RTU)을 채택했기 때문에 어떤 특정 네트워크 프로토콜에도 표준 인터페이스 컴포넌트를 사용하여 쉽게 적용할 수 있습니다.

펌프 상태를 쉽게 모니터링할 수 있는 LCD 컨트롤러를 옵션으로 선택 가능합니다. 모터온도, 모터 전류, 냉각수 유량, 펌프 온도등 관련 데이터가 표시 됩니다.
 

이 제품의 장점:

  • 저진동, 저소음
  • 경량
  • 작은 사이즈
  • 건식 비접촉 작동 방식
  • 긴 사용 수명
  • 낮은 소유 총 비용(TCO)

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제품 개요

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