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TORRI BD 0100–0600 A

다단계 회전 로브 진공 펌프

로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션

유연성

최단 로드록 챔버 펌핑 시간

효율성

매우 낮은 에너지 소비량, 유지보수 최소화, 높은 가동 유지 시간

컴팩트

예외적 수준의 소형 및 경량

기술 사양

시장 & 어플리케이션

반도체 제조
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