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TORRI 다단 회전 로브 진공 펌프

Torri 다단 회전 로브 진공 펌프는 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션입니다

매우 낮은 기압의 최대 진공도 동급 최고의 챔버 펌핑시간이 특징입니다.

 

작동 원리

Torri BD 진공 펌프는 검증된 회전 로브 원리에 따라 작동합니다.

펌프로 유입된 가스는 로브의 회전에 의해 첫번째 스테이지에서 다음 스테이지로 이송되며, 최종적으로 배출구로 배출됩니다.

로브의 특별한 외형과 정밀한 생산 공정 덕분에 로브끼리 또는 실린더와 마찰이 일어나지 않습니다.
컴프레서 챔버 내부에 추가적인 윤활제나 사용 유체(오일,물등)가 사용되지 않습니다.

로브는 직결식 수냉 전기 모터에 의해 동기화 되어 구동 됩니다.


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TORRI BD

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Torri – 로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션 Torri – 로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션

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