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RANGU DF 1000 - 2800 A

Rangu 오일 고진공 응용 분야에 적합한 Busch 의 새로운 오일 디퓨전 진공 펌프입니다. Rangu 펌프는 세 가지 크기가 있으며, 최대 10-8hPa(mbar)의 고진공과 최대 펌핑 속도 및 가스 유량이 필요한 응용 분야에서 이상적 입니다.

견고하며 검증된 제품
Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 검증된 vapour steam 원리에 따라 작동하며 탁월한 신뢰성이 특징 입니다. Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 다른 진공 펌프가 소손 될 수 있는 가장 까다로운 작동 조건에서도 지속적으로 고성능 및 긴 수명을 제공하며 안정적으로 작동 합니다.

가동 신뢰성 및 경제성
Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 거의 모든 반응성 가스 및 증기를 펌핑 할 수 있습니다. Rangu 는 고 효율적으로 작동하며 유지보수 비용이 매우 적습니다.

Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 10-3mbar 에서 작동할 수 있습니다. Fore-vacuum 의 생성을 위하여 R 5 진공 펌프 또는 COBRA 스크류 진공 펌프로 구성된 진공 시스템을 사용하는 것이 좋으며, 부스터 로서 루츠 진공 펌프를 사용할 수 있습니다. Busch 는 Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프에 적합한 다양한 fore-vacuum 시스템을 보유하고 있습니다. .

응용 분야
Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 다음과 같은 모든 산업용 고진공 응용 분야에 적합합니다:
 

  • Glass coating units (유리 코팅)
  • Vacuum furnaces (퍼니스)
  • Metal coatings (금속 코팅)
  • Physical vapour deposition (PVD)
  • Surface treatments (표면 처리)
  • Thin film coating (박막 코팅)
Rangu – 까다로운 공정을 위한 고진공

Rangu – 까다로운 공정을 위한 고진공

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기술사양

기술사양
Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 바닥을 가열할 수 있는 원동형 구조로 되어있습니다. 내부에 오일을 넣고 고압으로 가열하여, 노즐을 통하여 아래쪽으로 고속 분사하는 힘으로 공정 가스의 분자들을 하향으로 펌핑합니다. 이후 오일증기는 아래에서 수 냉식으로 응축되어 포집되고, 다시 원통형 구조로 회수하여 recycle 됩니다. Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 여러 단계의 혁신적인 노즐 컨셉을 통해 매우 높고 안정적인 펌프 속도를 제공합니다.

소묘 RANGU DF 1000 - 2800 A
RANGU DF 1000 - 2800 A
펌핑속도

펌핑 속도 (질소(N2), 20 °C). 공차: ± 10%

 50 Hz 60 Hz
펌핑속도
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
기술 데이터 RANGU DF 1000 A RANGU DF 1700 A RANGU DF 2800 A
질소(N2) 펌프 용량 10000 l/s 17300 l/s 28000 l/s
최대 진공도 < 7·10-8* hPa (mbar) < 7·10-8 hPa (mbar)* < 7·10-8* hPa (mbar)
권장 fore pump 크기 170 m³/h 510 m³/h 510 m³/h
가동 전력 12 kW 24 kW 24 kW
필수 냉각수 온도 15 - 26 °C 15 - 26 °C 15 - 26 °C
예열 시간 45 minutes 60 minutes 60 minutes
냉각수 소비량 300 l/h 800 l/h 800 l/h
오일 충전량 4.7 l 11.3 l 11.3 l
최대 foreline 진공도 (N2) 0.85 hPa (mbar) 0.65 hPa (mbar) 0.71 hPa (mbar)
중량(근사치) 264 kg 612 kg 680 kg
치수 (W x H x Ø) 1030 x 1219 x 630 mm 1173 x 1740 x 800 mm 1673 x 1832 x 1000 mm
펌프 연결 플랜지 흡입구/배기구 DN 630 ISO-K / DN 160 ISO-K DN 800 ISO-K / DN 200 ISO-K DN 1000 ISO-K / DN 200 ISO-K
* 권장 fore pump 사용 시

기술사양

기술사양
Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 바닥을 가열할 수 있는 원동형 구조로 되어있습니다. 내부에 오일을 넣고 고압으로 가열하여, 노즐을 통하여 아래쪽으로 고속 분사하는 힘으로 공정 가스의 분자들을 하향으로 펌핑합니다. 이후 오일증기는 아래에서 수 냉식으로 응축되어 포집되고, 다시 원통형 구조로 회수하여 recycle 됩니다. Rangu 오일 디퓨전 진공 펌프는 여러 단계의 혁신적인 노즐 컨셉을 통해 매우 높고 안정적인 펌프 속도를 제공합니다.

소묘
RANGU DF 1000 - 2800 A
RANGU DF 1000 - 2800 A
펌핑속도

펌핑 속도 (질소(N2), 20 °C). 공차: ± 10%

50 Hz
60 Hz
펌핑속도
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
기술 데이터 RANGU DF 1000 A RANGU DF 1700 A RANGU DF 2800 A
질소(N2) 펌프 용량 10000 l/s 17300 l/s 28000 l/s
최대 진공도 < 7·10-8* hPa (mbar) < 7·10-8 hPa (mbar)* < 7·10-8* hPa (mbar)
권장 fore pump 크기 170 m³/h 510 m³/h 510 m³/h
가동 전력 12 kW 24 kW 24 kW
필수 냉각수 온도 15 - 26 °C 15 - 26 °C 15 - 26 °C
예열 시간 45 minutes 60 minutes 60 minutes
냉각수 소비량 300 l/h 800 l/h 800 l/h
오일 충전량 4.7 l 11.3 l 11.3 l
최대 foreline 진공도 (N2) 0.85 hPa (mbar) 0.65 hPa (mbar) 0.71 hPa (mbar)
중량(근사치) 264 kg 612 kg 680 kg
치수 (W x H x Ø) 1030 x 1219 x 630 mm 1173 x 1740 x 800 mm 1673 x 1832 x 1000 mm
펌프 연결 플랜지 흡입구/배기구 DN 630 ISO-K / DN 160 ISO-K DN 800 ISO-K / DN 200 ISO-K DN 1000 ISO-K / DN 200 ISO-K
* 권장 fore pump 사용 시

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