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COBRA BC 1000 / 2000 F

COBRA BC 01000 F 및 BC 2000 F 는 태양광 전지, 평판 스크린 및 반도체 생산과 제반 공정에서 고속 및 탁월한 수소배출 능력이 요구되는 모든 진공 장비에 이상적 입니다. COBRA BC 진공 펌프는 oil-free 비 접촉 방식으로 파우더와 particle 배출이 용이합니다.

COBRA BC 01000 F 및 BC 2000 F Busch 부스터 펌프를 장착하여 우수한 펌핑 속도 및 최대 진공도를 제공 합니다. Backing 펌프와 부스터 펌프는 컴팩트한 프레임으로 연결되어 있습니다.

COBRA BC 1000 F 및 BC 2000 F 는 고효율 모터와 대기모드가 장착돼있어 에너지 절감이.

매우 작은 공간 및 에너지를 사용하여 최소한의 비용으로 운영할 수 있습니다. COBRA BC 진공 펌프는 사용 수명이 길어 운영 비용이 절감 됩니다. 기존 시스템에 스크류 진공 펌프를 간단하게 장착할 수 있습니다.

응용분야

  • High-density plasma CVD (HDP CVD) (고밀도 플라즈마 화학 증착공정)
  • Rapid thermal processing (RTP) (급속 열처리 공정)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD) (부기압 화학 증착공정)
  • Metal-organic CVD (MOCVD) (유기 금속 화학 증착 공정)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD) (플라즈마 화학 증착공정)
  • Low-pressure CVD (LPCVD) (저압 화학 증착 공정)
  • Atomic layer deposition (ALD) (원자층 증착 공정)
  • Load-lock applications (로드락 응용 분야)

COBRA – 까다로운 공정에 적합한 차세대 건식 진공 펌프

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기술사양
COBRA BC 1000 F와 BC 2000 F 는 1단의 2축형 스크류 진공 펌프입니다. 서로 반대 방향으로 회전하는 2개의 스크류 로터로 작동합니다. 흡입된 가스는 스크류 사이로 유입되어서 압축, 이동 과정을 거쳐서 배출 됩니다. 압축 공정 동안 두 개의 스크류 회전체는 서로 접촉하지 않으며, 실린더와도 접촉하지 않습니다. 따라서, 압축 챔버 내부에는 어떠한 윤활유도 필요치 않습니다.

발전된 최신 스크류 설계로 에너지 소모와 가스 압축열을 크게 줄였습니다. 현대적인 스크류 기술로 수소 또한 빠른 속도로 펌핑 할 수 있습니다. 루츠 부스터를 사용한 컴팩트한 진공 시스템 입니다.

효과적인 간접 수 냉각 방식을 사용하여 진공 펌프 내에 고르게 온도가 분산되고 COBRA BC 는 공정 전체에 걸쳐 열 안정성을 보장합니다.


COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
펌핑속도

펌핑 속도 (공기, 20 °C). 공차: ± 10%

50 Hz 60 Hz
펌핑속도
기술 데이터 COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
펌프 용량 m³/h 930 1580
Nominal motor speed mechanical booster (MB) kW 2.9
최대 진공도 hPa (mbar) 0.003 0.003
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode kW 2.1 / 1.5 3.0 / 1.9
보조 펌프 모터정격 소비전력 kW 1.5 2.9
진공 부스터 모터정격 소비전력 kW 4.0
Nominal motor speed booster pump min-1 5400 5400
공칭 모터 속도 앞 펌프 min-1 3000 4800
소음레벨 (ISO 2151) dB(A) 62 62
물 소비량 l / min 3.0 3.0
질소 소비량 l / min 0 - 50 0 - 50
중량 (모터 제외) kg 310 360
치수 (L x W x H) mm 1054 x 425 x 615 1054 x 425 x 615
Gas inlet / outlet 50 Hz DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
모든 성능 데이터는 14.7 PSIA, 70°F(약 21℃)의 주변 조건을 기반으로 하며 편차는 ±10%입니다.    

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