COBRA DS 0600 E
건식 스크류 진공 펌프
까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
고성능
고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량
컴팩트
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
바이오가스 처리용
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업그레이드 - 압력 순환 흡착
평면 패널 디스플레이 생산용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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로드 록 챔버
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유기 발광 다이오드(OLED)
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물리적 증착(PVD)
리튬 이온 배터리 생산
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탈기
반도체 제조
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Medium
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Harsh
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Light
태양열 발전 산업용
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잉곳 주조
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
액세서리
- 가혹 조건에 적합한 탄탈 코팅