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COBRA DS 0080/0160 G

스크류

까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프

고성능

고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 매우 적합

효율성

낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량

컴팩트

어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터

기술 사양

시장 & 어플리케이션

평면 패널 디스플레이 생산용
  • 플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
  • 유기 발광 다이오드(OLED)
  • 로드 록 챔버
  • 물리적 증착(PVD)
금속 공정
  • 코팅
반도체 제조
  • Harsh
태양열 발전 산업용
  • 플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)