단순공정 및 화학 반응용 반도체 응용 분야에 이상적인 솔루션
고성능
고급 스크류 설계, 벨 형상 구조, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류, 우수한 작동 품질, 로드 록 및 트랜스퍼 챔버에서의 작업에 매우 적합
효율성
최신 Busch VacBoost 기술, 낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 높은 가동 시간, 직접 수냉식, 인텔리전트 유휴 모드
컴팩트
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 제조
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